XTC/3 薄膜沉积控制器

先进的、经济实惠的单层或多层速率控制

现在,您可以在单层和多层工艺的薄膜沉积控制器中获得所需的一切。XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。通过 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以极其准确地控制沉积速度和厚度,能够达到几乎任何层数,安装轻松且可靠性极高,从而确保生产效率。

薄膜沉积控制领域的全球领头羊 INFICON,现在提供了一种拥有成本极低的仪表,为您带来前所未有的价值。

无论您的控制需要属于生产还是研发领域,都能从 INFICON XTC/3 中找到完美的解决方案。

全球 INFICON 支持

无论您身在何处,都能获得快速的疑难解答和周到的服务,确保正常运行时间最大化。INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商,其办事处遍布全球。

功能

  • 提供有单层和多层型号
  • 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
  • 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换,从而最大化生产力
  • XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
  • XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
  • 可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称,以便于检索
  • 提供以太网连接
  • 独立式(不需要计算机)或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型应用

  • 高端光学镀膜

新闻

XTC/3 前面板已根据 INFICON
公司的新标准进行重新设计。

XTC/3M 是第一款带有此新设计的薄膜产品并
已装配在当前销售的新产品中。XTC/3S 的新型前面板设计
将于 2013 年末开始发货。其他薄膜产品的前面板
将在 2014 年和 2015 年进行更新。

规格

类型 XTC3/S XTC3/M
频率分辨率 ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期 0.25 seconds 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.034 Å ±0.034 Å
测量技术 ModeLock ModeLock
过程数量 1 99
层数 1 999
材料计划(或薄膜)数量 9 32
传感器输入数量 2 2
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持 Yes Yes
支持 XTAL 2 开关 Yes Yes
来源输出数量 2 2
计算机通信 RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大 RS232 波特率 115.2 KBaud 115.2 KBaud
自动晶体转换 Yes Yes
继电器数量 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
可编程继电器功能数量 1 1
每个继电器的功能 1 1
继电器额定电压 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
记录器输出数量 1 1
手动电源 / 手持控制器 Yes Yes
排气管风扇 No Exhaust Fan No Exhaust Fan
测试模式 Yes Yes
闸门延迟 Yes Yes
二次成型模具 Yes Yes
外壳尺寸 half rack, 2U high half rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通过输入选择膜 Yes No
用户指南语言 English, Chinese English, Chinese
控制环路 PID PID
用于从 PC 操作的软件 Yes Yes
数据记录 Yes Yes
质量和稳定性功能 Yes Yes
采样保持 (RateWatcher™) Yes Yes
坩埚选择 Yes Yes
坩埚反馈输入 Yes Yes
选择控制电压极性 Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序锁定码 Yes Yes
带图形的显示器 Yes Yes
用户标记过程(手机式字母数字输入) No No
用户标记膜(手机式字母数字输入) No No
传输传感器控制 Yes Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性 Yes (limited) Yes (limited)

(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
CrystalSix® 传感器 CrystalSix® 传感器
Crystal 12® 传感器 Crystal 12® 传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 旋转式传感器 RSH-600 旋转式传感器
零件号 明细
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 Handheld Power Controller
780-702-G1 单件机架安装套件 – 提供将单台 XTC/3 安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-702-G2 两件机架安装套件 – 提供将两台 XTC/3 并排安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
779-220-G1 CrystalTwo 开关,15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2 CrystalTwo 开关,50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
780-611-G15 带 5 ft. (4.6 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G30 带 30 ft. (9.1 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G50 带 50 ft. (15.2 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G100 带 100 ft. (30.5 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G15 带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G30 带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G50 带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G100 带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G15 带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G30 带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G50 带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G100 带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
Oscillator Only (未随附电缆)
780-600-G1 XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至传感器头部电缆
780-600-G2 XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至传感器头部电缆
Cables
755-257-G6 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,XIU 至真空馈入件
600-1261-P15 4.6 米(15 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米(30 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米(50 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100 30.5 米(100 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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