Transpector® MPH 残余气体分析仪

 

解放您的过程

无与伦比的性能提高良率并使正常运行时间最大化

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此,在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能,有助于最大限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点,在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业领先的数据采集速度,可检分压强和信噪比最低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

  • 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
  • TCP/IP 以太网连接
  • 双丝极
  • 可现场更换电子倍增器
  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
  • 较短的传感器可降低安装占地面积
  • 九个数量级的动态量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu)
  • 信噪比更高
  • 可调换传感器和电子元件
  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
  • 符合 RoHS 标准

规格

类型 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
传感器长度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
质量范围 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
检测器类型 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
灵敏度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可检测分压 (4) 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
最高传感器工作温度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
最高传感器工作温度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
丝极类型选件 (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
丝极类型选件 (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整个质量范围内) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
温度系数 <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
最高每点数据率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
零冲击(@ 质量 2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
最大工作压力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
最高烘烤温度 300 300 300 300 300 300
功率输入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 用于一般应用

(2) 用于卤素环境应用

(3) 在峰高的 10% 处

(4) 4 秒的停留时间

附件

MPH100F
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH100M
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200F
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200M
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300F
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300M
零件号 明细
961-021-G1 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-416-P1 备用 MPH 加热套
961-021-G2 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6 MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G1 8 端口以太网交换机
961-702-G1 Pirani 联锁套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V

备件

MPH100F
零件号 明细
961-H1FAS MPH 传感器,100 AMU FC (MPH100F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H1FBS MPH 传感器,100 AMU FC (MPH100F),带有钨丝
MP-H10S MPH 电子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
MPH100M
零件号 明细
961-H1MAS MPH 传感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H1MBS MPH 传感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),带有钨丝
MP-H10S MPH 电子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-2428-G2 电子倍增器更换套件
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-205-G2 MPH HPR 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
MPH200F
零件号 明细
961-H2FAS MPH 传感器,200 AMU FC (MPH200F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H2FBS MPH 传感器,200 AMU FC (MPH200F),带有钨丝
MP-H20S MPH 电子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
MPH200M
零件号 明细
961-H2MAS MPH 传感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H2MBS MPH 传感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),带有钨丝
MP-H20S MPH 电子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-2428-G2 电子倍增器更换套件
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-205-G2 MPH HPR 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
MPH300F
零件号 明细
961-H3FAS MPH 传感器,300 AMU FC (MPH300F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H3FBS MPH 传感器,300 AMU FC (MPH300F),带有钨丝
MP-H30S MPH 电子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
MPH300M
零件号 明细
961-H3MAS MPH 传感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H3MBS MPH 传感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),带有钨丝
MP-H30S MPH 电子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),带有以太网
961-700-G1 镀铱丝套件
961-700-G2 钨丝套件
961-701-G1 镀依丝离子源
961-701-G2 钨丝离子源
961-2428-G2 电子倍增器更换套件
961-416-P1 备用 MPH 加热套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延长套件
961-205-G2 MPH HPR 延长套件
961-022-G1 备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 气体分析产品手册 CD
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