Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar,新10mTorr

 

INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器.


Stripe CDG045Dhs 赢得了 2014 研发 100 大奖!!

 

好处

  • 高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
  • 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
  • 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
  • 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

典型应用

  • 原子层沉积
  • 高速过程控制
  • PVD、CVD、蚀刻
  • 一般高温真空应用
  • Stripe_MB.gif

规格

类型 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar 0.02 ... 0.01Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 -
精度 % of reading - 0.2
温度效应    
零点 percent FS/°C 0.0025 -
在零点 0.5 ... 0.05 乇/毫巴 percent FS/°C 0.005 -
在零点 0.02 ... 0.01 乇 percent FS/°C - 0.01
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01
最大压强    
P 最大 1000乇/毫巴 kPa (absolute) 400 400
P最大 500 ... 1乇/毫巴 kPa (absolute) 260 260
P 最大 0.5 ... 0.01乇/毫巴 kPa (absolute) 130 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003
最低读数 percent FS 0.01 0.01
建议的最低读数 percent FS 0.05 0.05
建议的最低控制压力 percent FS 0.5 0.5
温度    
运行(环境) °C +10 … +40 +10 … +40
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +85 –20 … +85
电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗    
加热时 W ≤14 ≤14
运行温度 W ≤9 ≤9
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 2
保护等级 IP 30 IP 30
标准    
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点    
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1
诊断端口    
协议 USB USB
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积    
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) 非线性,迟滞,在 25°C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS

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