STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪

尺寸小巧,价格低廉,性能强大

STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合,在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。STM-2 小巧、简单,方便安装和操作。

出色的性能

STM-2 是行业内最精确的 USB 供电薄膜监测仪。每秒进行十次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。

轻松灵活安装

STM-2 附带了将 QCM 传感器/馈入件连接到 Windows® PC 所需的一切附件。只需将随附的 BNC 电缆从馈入件连接到 STM-2,然后使用标准微型 USB 电缆(随附)将 STM-2 连接到您的 PC 即可。无需外部振荡器或电源。

STM-2 配备内部振荡器,当 STM-2 距离石英晶体在 1 米(40 英寸)以内时,可采用这种简单并且具有成本效益的安装方式。在 STM-2 必须远离馈入件的应用中,可采用标准 INFICON® 振荡器套件。

STM-2 软件

STM-2 附带了 LabVIEW® 软件,该软件支持简单的运行和数据记录。它还附带了 Windows 软件,用于最多八个 STM-2 的同时运行和数据记录(每个 STM-2 需要一个供电的 USB 端口)。


请注意:需要安装 SMDP 服务器 STM-2 Windows 应用程序软件或 STM-2 LabVIEW 应用程序软件才能正常运行。

功能

  • 低成本仪器
  • USB 连接
  • 内部振荡器
  • 每秒 10 次测量时的高精度
  • 兼容外部振荡器
  • 附带软件

规格

类型 STM-2
传感器输入 One
兼容传感器 Non-shuttered single QCM sensor
传感器输入 Female BNC
测量频率范围 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
频率分辨率 ±0.03 Hz at 6 MHz
测量间隔 0.10 s
参考频率稳定性 ±2 ppm
厚度和速率分辨率/测量 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
厚度显示分辨率 1 Å (display on software only)
接口 USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
尺寸 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.)
重量 57 g (2 oz.)
计算机要求 Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2

零件号

STM-2
零件号 明细
STM-2 STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
ALD 传感器 ALD 传感器
溅射传感器 溅射传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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