SQM-160 薄膜沉积监控器

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。

传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。此外,还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

功能

  • 两个标准测量通道,另外四个可选
  • 模拟输出便于记录速率/厚度
  • 高分辨率选件:0.03 Hz,10 读数/秒
  • RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网

规格

类型 SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
QCM 传感器输入 Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
测量频率范围 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
测量周期 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
测量过滤器 1 to 20 readings 1 to 20 readings
存储薄膜 99 99
模拟输出 Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
数字输入/输出 Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
通信接口

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

功率 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合规性

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

壳体/安装

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Windows 软件(集成)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) 0.10 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.10 秒测量间隔

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
零件号 明细
782-900-008 用于一台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-900-014 用于两台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-502-096-G1 USB 扩展卡
782-502-097-G1 以太网扩展卡
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only (未随附电缆)
783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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