SQC-310 薄膜沉积控制器

高度准确的顺序或码位控制

凭借先进的技术、增强的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类薄膜控制器无法企及的优势。您可以为自己的应用选择理想的型号:连续沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。

 

功能

  • 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
  • 标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)
  • 设有 “Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作
  • 用于开发、测试和下载过程的 Windows®程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
  • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz
  • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
  • 使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控

规格

类型 SQC-310 SQC-310C
测量    
QCM 输入 2 (4 optional) 4
测量频率范围 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
控制    
存储 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出 2 (4 optional) 4
输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器 8/8 (16/16 optional) 16/16
数字输入 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
继电器 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
显示器    
类型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
一般    
功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性 CE, RoHS CE, RoHS
Windows® 软件 Included Included
壳体/安装 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
CrystalSix® 传感器 CrystalSix® 传感器
Crystal 12® 传感器 Crystal 12® 传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 旋转式传感器 RSH-600 旋转式传感器
零件号 明细
782-900-017 手持功率控制装置,10 ft. (3 m) 卷线
782-900-007 全高机箱扩展器 – 将一台 SQC-310 或 Composer Elite 安装到 19 in. 机架(包括封板)
782-900-016 机架适配器 – 将两台 SQC-310 仪器安装到 19 in. 机架
782-502-097-G1 以太网扩展卡
782-502-096-G2 USB 扩展卡
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only (未随附电缆)
783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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