溅射传感器

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现最佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体,更换时无需从系统中拆卸传感器头。

功能

  • 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现最佳冷却效果
  • 磁铁可偏转自由电子,使其远离监控器晶体
  • 利用可弯曲的水管轻松安装,灵活放置传感器
  • 后装式晶体插入便于更换晶体

规格

类型 Sputtering Sensor
无水时的最高烘烤温度 105°C
最小水流时的最高工作等温环境温度 400° C
尺寸(最大外壳) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空气和同轴长度 Standard 30 in. (76.2 cm)
晶体交换 Rear-loading
安装 Customer supplied
安装要求  
馈入件

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

其他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流速 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料  
主体和支架 Au plated Be-Cu
弹簧、电气触点 Au plated Be-Cu
水管 Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
连接器 304 Stainless steel
绝缘体 99% Al2O3
电线 Teflon® insulated copper
焊料 Cadmium free silver and indium alloys
晶体 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁铁 ALNICO 5 Alloy
可选闸门组件 750-005-G1 规格:  
温度 130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件号

Sputtering Sensor
零件号 明细
750-618-G1 溅射传感器(仅传感器,不包括馈入件)

附件

名称 说明
QCM 传感器馈入件 QCM 传感器馈入件
Sputtering Sensor
零件号 明细
750-005-G1 用于溅射传感器的气动闸门组件(仅闸门组件,不包括传感器)
750-420-G1 电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

备件

Sputtering Sensor
零件号 明细
007-023 陶瓷夹持器
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 止动弹簧(用于晶体支架)
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 定位环(安装到闸门组件的轴上)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 Teflon 螺钉(用于片簧)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4 联轴器(安装到波纹管组件)
750-169-P4 用于气动闸门组件的波纹管组件
750-174-P2 母型同轴
750-175-P1 绝缘体(片簧下面)
750-188-P3 片簧
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1 Body, Sputtering Sensor
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12 真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252 真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11 真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044 真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059 真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061 真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13 真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14 真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15 真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16 真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
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