旋转/直线运动馈入装置

INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 两个 FPM 轴密封件
  • 直接推/拉和旋转启动
  • 配备有锁环和可选防转装置
  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准
  • Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF

规格

类型 FCH016-H FCH025-H FCH040-H
真空连接 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF
馈入装置/密封圈 FPM FPM FPM
轴连接 M 3 / Ø5mm M 4 / Ø8mm M 6 / Ø12mm
行程 mm 50 100 150
轴负载      
最大行程处的径向力 N 10 15 30
扭矩 N•m 2 8 20
密封度,静态 mbar•L/s 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9
压力(绝对) 1 x 10-8 mbar ... 1bar 1 x 10-8 mbar ... 1bar 1 x 10-8 mbar ... 1bar
运行温度 °C 50 50 50
烘烤温度 °C 110 110 110
暴露于规程介质的材料 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082
重量 kg 0.1 0.2 0.3

零件号

FCH016-H
零件号 明细
214-320 FCH016-H Rotary/linear motion feedthroug
214-072 Anti-rotation device DN 16
FCH025-H
零件号 明细
214-322 FCH025-H Rotary/linear motion feedthroug
214-073 Anti-rotation device DN 25
214-349 FCH025-H Rotary/linear motion feedthroug
FCH040-H
零件号 明细
214-324 FCH040-H 旋转/线性串通连接件
214-074 Anti-rotation device DN 40
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