旋转馈入装置 ISO-KF / ISO-K

INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 适用于传输高扭矩
  • 配备有 FPM 轴密封件和滚珠轴承
  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准

规格

类型 FRH016-H FRH025-H FRH040-H FRH063-H
真空连接 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-KF
馈入装置/密封圈 FPM FPM FPM FPM
轴测量 mm Ø5 Ø8 Ø12 Ø20
转矩 nm 1.5 6 25 100
旋转速度 (1) RPM 1500 1000 750 500
真空环境下的空转力矩 N•cm ≤ 3 ≤ 4 ≤ 5 ≤ 10
真空环境下的启动力矩 N•cm ≤ 6 ≤ 8 ≤ 10 ≤ 20
真空侧轴负载        
径向力 N 60 150 250 500
轴向力 N 30 50 60 100
使用寿命 Revolutions 20 000 000 20 000 000 20 000 000 10 000 000
密封度,静态 mbar•L/s 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9
压力(绝对) 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar
运行温度 °C 50 50 50 50
烘烤温度 °C 110 110 110 110
暴露于规程介质的材料 stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM
重量 kg 0.1 0.2 0.6 2

(1) 如果可接受使用寿命缩短,可以将旋转幅度增加至两倍

(2) 与 DN63 ISO-K 有关:
交付时未提供定中环,材质为 CR 铝(部件号 212-251)/ FPM 不锈钢(部件号 212-281)。

零件号

FRH016-H
零件号 明细
214-300 FRH016-H Rotary feedthrough DN 16 ISO-KF
FRH025-H
零件号 明细
214-302 旋转馈入装置DN 25 ISO-KF
FRH040-H
零件号 明细
214-304 FRH040-H选择馈入装置DN 40 ISO-KF
214-347 FRH040-H选择馈入装置DN 40 ISO-KF
FRH063-H
零件号 明细
214-306 旋转贯穿件 FRH063-H DN DN 63 ISO-K
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