旋转馈入装置 CF

INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 波纹管密封
  • 全金属版本
  • 可满足各种苛刻的真空要求
  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准
  • FRU DN 16 - DN 40.gif

规格

类型 FRU016-H FRU040-N FRU040-L
真空连接 DN 16 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F
馈入装置/密封圈 bellow bellow bellow
轴连接 mm 4 8 12
转矩      
动态 N•m 0.4 4 10
动态,300 °C N•m 0.2 2 2
静态 N•m 0.2 3 5
旋转速度 RPM 200 1000 500
最大力矩 RPM ­ 500 300
真空侧轴负载      
径向力 N 10 60 100
轴向力 N 5 20 30
使用寿命 Revolutions 1 000 000 2 000 000 1 000 000
刻度 degree 10
密封度 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
压力(绝对) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
运行温度 °C 300 300 300
烘烤温度 °C 300 300 300
暴露于规程介质的材料 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305
重量 kg 0.3 1.5 3

零件号

FRU016-H
零件号 明细
214-310 FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F
FRU040-N
零件号 明细
214-312 FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F
FRU040-L
零件号 明细
214-314 FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F
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