QMG 700 分析质谱仪


QMG 700 的一些变体将于 2018 年 1 月 31 日停产

  • 质量范围为 1024 amu 和 2048 amu 
  • 质量范围为 16 amu 和 340 amu 
  • 离子光学系统 
  • QMG 725 系统

超出检测限制且达到优异的稳定性和细微的分辨率

 

半导体制造技术中的快速进步依赖敏捷而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测障碍并促使您的过程进入更高层次的创新。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。

 

 

从多样化的离子源、滤质器和射频电源选项中选择适当的方案,以根据具体的应用量身定制 QMG 700。QMG 700 对超过九个数量级的动态量程和 ppb 检测限制引以为豪,这种特性使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 可提供涵盖整个质量范围的单位分辨率,对于较低的质量甚至可获得更高的分辨率。该仪器是最具挑战性的测量应用的极好选择,包括同位素分析,例如氦和氘分离。通过 QMG 700 控制您的过程,并依靠其出色的长期稳定性来保护关键测量。

 

INFICON 在分析质谱仪领域拥有四十多年卓越的历史,可确保 QMG 700 成为下一代气体分析投资的正确选择。为了获得一致的精度和精确的结果,您可信赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长。

功能

  • 质量范围选择为 1-2048 amu
  • 超过九个数量级的动态量程
  • 极快的测量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内明确地分离

  • 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
  • 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
  • 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
  • IO 选项:8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
  • 采用灵活且用户友好界面的强大软件

典型应用

  • 气体排放质谱仪
  • 终点检测
  • 沉积材料监控
  • 二次离子质谱仪

规格

类型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
质量范围 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
传感器长度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
杆直径 8 mm 16 mm 8 mm
杆材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
法兰 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
检测器类型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
最大工作压力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
灵敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
最小可检测分压 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分辨率(可调) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
分压比 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
最高工作温度传感器 150 °C 150 °C 150 °C
最高烘烤温度 400 °C 400 °C 400 °C
最高工作温度电子元件 40 °C 40 °C 40 °C
测量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
电源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 可用于质量范围:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。                        

 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

 

(2) QMA 410 可用于质量范围:1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

 

零件号

QMA 430
零件号 明细
490-913 QMA 430 with Grid Ion Source
490-943 QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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