PEG100 中到超高真空真空计

 

INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。

好处

  • 测量范围可达 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
  • 全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入装置
  • 新创的电极几何形状提供卓越的点火属性
  • 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间
  • 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
  • 最小化真空计附近的磁场强度
  • LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口(Profibus DB、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发镀溅系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制
  • PEG100 Penning Gauge

规格

类型 PEG100
测量范围 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 至 10-4 毫巴 % of reading ±30
压力,最大(绝对) bar 10
温度  
运行(环境) °C +10 to +50
贮存 °C -20 to +75
无电子设备,烘烤 °C 350
带电子元件,在法兰处烘烤 °C 70
供应  
电压 V (dc) 14.5 to 36
消耗,最大 W <2
输出信号模拟  
输出信号 V 0 to 10.6
测量范围 V 0.66 to 10
电压与压强之间的关系 volts per decade 1.333
连接器 FCC 68, female, 8 pin (shielded)
电缆长度,最大(模拟) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容积 cm³ (in.³) 21 (1.28)
重量,接近 g 500
保护类型 IP40
DeviceNet™  
设备类型 generic
显示对等网络传讯 no
I / O 对等传讯 no
配置一致性值 no
默认节点恢复 no
波特率 kBaud 125 / 250 / 500
主板 / 扫描器 no
I / O 从属传讯: 位触发 yes
I / O 从属传讯: 轮询 yes
I / O 从属传讯: 周期 yes
I / O 从属传讯: 状态改变 (COS) yes
DeviceNet™ 电源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 连接器 Phoenix Combicon, 5 pin

零件号

PEG100
零件号 明细
351-000 真空计
351-002 PEG100-P 规管
351-003 PEG100D 型真空计
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-490 阴极片
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