PCG55x 大气压至中真空真空计

 

INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。

在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内,电容隔膜技术不受气体类型限制,能够提供高度精确的可靠压力测量值。PCG55x 还拥有各种功能,可针对条件苛刻的应用进行正确的产品配置。

好处

  • 在 10 mbar 以上压力下不受气体类型限制 – 能够安全排放任何气体混合物
  • 在大气压力下具有高度的准确性和再现性,能够进行可靠、快速的大气压力检测
  • 灵活的安装方向提供自由的加工设计
  • 可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 易于更换的即插即用式传感元件与板载校准数据 - 保证了高度再现性和低拥有成本
  • 可选的输出信号,易于集成
  • 可选大气开关、显示屏和数字接口
  • 合规和标准:CE、EN、UL、CSA、RoHS

典型应用

  • 预抽真空室
  • 前级真空压力测量
  • 真空系统中的安全电路
  • 中度真空和低真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

新! 现在提供 EtherCAT 数字接口!

  • PCG55x_Massbild Varianten.png

规格

类型 PCG550 Tungsten PCG552 Nickel PCG554 ceramic coated
测量范围 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500
精度      
5×10-4 … 1×10-3 毫巴 (N2) % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 … 100 毫巴 (N2) % of reading ±15 ±15 ±15
100 … 950 毫巴 % of reading ±5 ±5 ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5 ±2.5 ±2.5
可重复性      
1×10-3 … 1100 毫巴 (N2) % of reading ±2 ±2 ±2
容许压力 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
压力,最大 bar (absolute) 10 10 10
容许温度      
运行(环境) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
贮存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
在法兰处烘烤 °C ≤80 ≤80 ≤80
在长管法兰处烘烤 °C ≤250 ≤250 ≤250
电源电压 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
功耗      
无现场总线 W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
DeviceNet™ W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
输出信号模拟 3PCx-0xx-xxx0 V 0 … +10.23 0 … +10.23 0 … +10.23
输出信号模拟 3PCx-0xx-xxx1 V 0 … +8.68 0 … +8.68 0 … +8.68
输出信号模拟 3PCx-0xx-xxx2 V 0 … +5.659 0 … +5.659 0 … +5.659
输出信号模拟 3PCx-0xx-xxx3 V 0 … +9.05 0 … +9.05 0 … +9.05
测量范围 3PCx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23
测量范围 3PCx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68
测量范围 3PCx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659
测量范围 3PCx-0xx-xxx3 V +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05
电压与压强      
3PCx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
负载电阻 kΩ >10 >10 >10
设定点继电器      
设定点数量 2 2 2
范围 (N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
继电器触点 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
滞后 % of threshold 10 10 10
触点额定固态继电器 ≤30 ≤30 ≤30
触点额定机械继电器 ≤30 ≤30 ≤30
转换时间 ms ≤30 ≤30 ≤30
接口(数字) RS232C RS232C RS232C
电气连接      
3PCx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PCx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PCx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PCx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
电缆长度 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 运行 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
暴露于真空的材料 W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Al2O3, stainless steel
内部容积      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF 长管 cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R 长管 cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF,4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8'' NPT,7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
表面贴装 29 毫米/1.15 英寸 cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
重量      
无现场总线接口 g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
带现场总线接口 g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
保护等级 IP 40 IP 40 IP 40
标准      
CE 合规 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 认证 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
DeviceNet™      
协议 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only polling only polling only
DeviceNet™ 的电源电压 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
功耗 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
DeviceNet 连接器 Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
波特率 kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
地址 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 连接器 D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT 连接器 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
PCG55x_Ordering Information

附件

PCG550 Tungsten
零件号 明细
211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF
211-097 细目过滤中心环组件DN 16 ISO-KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG552 Nickel
零件号 明细
211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF
211-097 细目过滤中心环组件DN 16 ISO-KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG554 ceramic coated
零件号 明细
211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF
211-097 细目过滤中心环组件DN 16 ISO-KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

备件

PCG550 Tungsten
零件号 明细
357-925 PCG550备用传感器
357-926 PCG550备用传感器
357-927 PCG550备用传感器
357-928 PCG550备用传感器
357-929 PCG550备用传感器
357-930 PCG550备用传感器
357-931 PCG550备用传感器
357-932 PCG550备用传感器
357-933 PCG550备用传感器
357-934 PCG550备用传感器
357-935 PCG550备用传感器
PCG552 Nickel
零件号 明细
357-936 PCG552备用传感器
357-937 PCG552备用传感器
357-938 PCG552备用传感器
357-939 PCG552备用传感器
357-941 PCG552备用传感器
357-942 PCG552备用传感器
357-943 PCG552备用传感器
357-944 PCG552备用传感器
357-945 PCG552备用传感器
357-946 PCG552备用传感器
PCG554 ceramic coated
零件号 明细
357-947 PCG554备用传感器
357-948 PCG554备用传感器
357-949 PCG554备用传感器
357-950 PCG554备用传感器
357-951 PCG554备用传感器
357-952 PCG554备用传感器
357-953 PCG554备用传感器
357-954 PCG554备用传感器
357-955 PCG554备用传感器
357-956 PCG554备用传感器
357-957 PCG554备用传感器

数据表

手册

手册

三维步骤文件

其他文件

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