RFS100 射频传感器

 

带有 FabGuard 的射频传感器能够实时提供等离子过程分析,大幅降低过程变异性

INFICON 射频传感技术能够为半导体过程工具提供高度准确、宽频、频率判别式射频测量。通过此射频数据,可以详细了解过程开发和生产过程问题中的实际等离子状态,大幅降低过程变异性。作为其高级过程控制现场传感器套件中的最新产品,这种无损直连式电缆安装射频传感器结合 FabGuard 传感器集成与分析系统以提供关键诊断信息,例如准确腔室以及过程功率和阻抗测量、故障根本原因分析(例如,匹配网络问题)、利用过程指纹进行腔室匹配,以及 PVD、CVD 和蚀刻应用中的晶片计量建模。

采用 FabGuard 的 INFICON 射频传感器技术可生成极其准确的模型,通过测量基本和谐波电压和电流(包括相角测量)并对其进行分析来预测晶片计量结果,这样工程师就能控制所处理的每个晶片的实际晶片结果。现在,FabGuard 独一无二的强大算法性能与射频传感技术完美结合,可以基于实时测量以及易于理解的用户界面所提供的相关性分析,显著提高半导过程的可重复性、稳定性和准确性。

功能

  • CVD 应用

       - 晶片计量建模(薄膜应力、薄膜厚度)

       - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

       - FDC(例如等离子体不稳定性、充电)

       - 腔室匹配(射频指纹)

  • PVD 应用

    - 晶片计量建模(电阻率)

    - FDC

    - 腔室匹配(射频指纹)

  • 蚀刻应用

       - 晶片计量建模(蚀刻速率)

       - 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制

       - FDC

       - 腔室匹配(射频指纹)

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