ADC100 DC 电弧检测器

ADC100 系统连接至 DC 发电机,以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程,并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。

功能

  • FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
  • 每个通道 250 kHz 的数据采集频率
  • 将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
  • 使用预定义分析工具快速检测电弧
  • 终点检测功能
  • 全球应用支持
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