Gemini™ 大气压至超高真空真空计

 

INFICON Gemini 倒泵控管真空计适合作为所有真空测量应用的重负荷设备(待定)。Gemini 在单一的小设备中结合了两种传感器系统,测量范围为大气压至 1x10 – 9 mbar。专利超低杂散磁场设计开创了一个全新的应用范围。独有的可调换双室传感器单元无需清洁,维护工作减少,使 Gemini 成为同类产品中最坚固和经济实用的真空计。

 

Gemini 冷阴极和复合型产品配备完全集成的数字电子元件,在系统集成中具有极高的灵活性。冷阴极和皮拉尼复合选件能够实现无缝转换,在各种各样的应用中都极其可靠、实用和灵活。

 

MPG500 系列代表着最新的技术,用于直接替代 PTR 90 / PTR 225(模拟版本)系列的冷阴极或潘宁发射器。

 

部件编号类型部件编号类型
3MB0-006-000PMPG500SS, HC, FCC, 25 KF=230070PTR 90DN 25 KF
3MB0-007-000PMPG500SS, HC, FCC, 40 KF=230071PTR 90DN 40 KF
3MB0-00Q-000PMPG500SS, HC, FCC, 40 CF-F=230072PTR 90DN 40 CF
3MA0-007-000QMAG500SS, HC, FCC, 40 KF=15734PTR 225DN 25 KF

好处

  • MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the  PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.

  • 在恶劣环境下,使用寿命长

  • 低杂散磁场
  • 零维护- 可换插头
  • 超紧凑尺寸
  • 可靠的快速点火
  • 抗腐蚀馈入装置
  • 可选测量电流

典型应用

  • 基本压力监视和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
  • 一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

新闻

新一代冷阴极/冷阴极-皮拉尼组合真空计现在开放订购!

  • MxG50x dimensions

规格

类型 MAG50x MPG50x
测量系统 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
测量范围(空气、氮气) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
准确度 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 30 30
1×10-2 … 100 毫巴 % of reading - 15
100 … 1000 毫巴 % of reading - 50
可重复性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 5 -
1×10-8 … 100 毫巴 % of reading - 5
安装定位 any any
容许压力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <50°C) 10 (limited to inert gases <50°C)
容许温度    
运行(环境) °C +5 ... +55 +5 ... +55
法兰烘烤 (1) °C <150 <150
储存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
灯丝温度 °C - 120
一年 30 天的相对湿度    
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供电电压    
在量规 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
波纹 V (p-p)

<1

<1

功耗 W <2 <2
待连接的保险丝 AT <1 <1
电压范围    
模拟输出 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
测量范围    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
电压比压力    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
错误信号    
错误信号 V

<+0.5

09.5 ... +10.5

输出阻抗 2x10 2x10
负载阻抗 kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

阶跃响应时间    
p > 10-6 毫巴 ms

<10

<10

p = 10-8 毫巴 ms

~1

~1

量规标识 kΩ 100 85
状态(针 6)    
仅皮拉尼模式 V - 0 (low)
冷阴极点燃 V +15 ... +30 -
组合皮拉尼/冷阴极模式 3) V - +15 ... +30 (high)
电气连接    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
传感器电缆    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
电缆长度    
50 米电缆 m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 米电缆 m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 米电缆 m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 米电缆 m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
工作电压 kV <3.3 <3.3
工作电流高 µA <500 <500
工作电流低 µA <100 <100
曝露在真空的材料    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
内部容量 cm³ 22.8 22.8
重量    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
防护等级 IP 40 IP 40
标准    
符合CE

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

维护 none none

1) 没有电子设备。

2)供电装置的最小电压必须根据传感器电缆的长度成比例增加。

3) 冷阴极点火。

零件号

MAG50x
零件号 明细
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 点火单元
351-995 起辉器
MPG50x
零件号 明细
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 点火单元
351-995 起辉器

附件

MAG50x
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元
MPG50x
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元
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