MPG40x 大气压至超高真空真空计

 

INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

好处

  • 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
  • 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
  • 不会出现丝极烧毁的现象
  • 卓越的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • LED 指示器,高压时亮起
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发镀溅系统基本压力
  • 中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

规格

类型 MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
测量范围(空气,N2 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30% ≈±30%
可重复性    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5% ≈±5%
安装定位 any any
容许压力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
容许温度    
运行(环境) °C +5 … +55 +5 … +55
贮存 °C –40 … +65 –40 … +65
烘烤 (1) °C 150 150
单丝温度(皮拉尼) °C 120 120
电源电压    
真空计上 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
缆线最长的电源装置 (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
波纹 V (p-p) ≤1 ≤1
功耗 W ≤2 ≤2
可连接的保险丝 AT ≤1 ≤1
输出信号(测量信号)    
电压范围 V 0 … +10.5 0 … +10.5
测量范围 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
电压与压强 logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号    
无电源 V <0.5 <0.5
皮拉尼传感器,单丝断裂 V >9.5 >9.5
输出电阻 2 x 10 2 x 10
最小负载电阻 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反应时间    
p > 10-6 毫巴 ms <10 <10
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000 ≈1000
识别真空计 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
状态    
仅皮拉尼模式 V 0 (low) 0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
电气连接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
电缆长度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压 kV ≤3.3 ≤3.3
运行电流 µA ≤500 ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积 cm³ ≈20 ≈20
重量    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
保护类别 IP 40 IP 40
标准    
CE 合规 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1)没有电子元件和磁屏蔽。

2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-010 MPG400 真空计
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件号 明细
351-020 MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 DN 40 CF-F
351-023 磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-023 磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件号 明细
351-023 磁屏蔽

备件

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
BN846469-T Spare measurement system MPG400
BN846470-T Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994 MPG40X 点火单元
351-995 起辉器
351-998 维修包
351-999 维修保养套件
MPG401 metal-sealed
零件号 明细
BN846472-T Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994 MPG40X 点火单元
351-995 起辉器
351-996 MPG401 Repair set
351-997 MPG401 Maintenance set
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