MPG40x 大气压至超高真空真空计

 

INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量,范围范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压(3.8 x 10-9 托至大气压)。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中,极大降低了安装、设置和集成的复杂性。

好处

  • Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
  • 测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压
  • 不会出现单丝烧毁的现象
  • 卓越的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • 高压 LED 指示灯
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力
  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

规格

类型 MPG400 FPM sealed
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30%
可重复性  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5%
安装定位 any
容许压力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
容许温度  
运行(环境) °C +5 … +55
贮存 °C –40 … +65
烘烤 (1) °C 150
单丝温度(皮拉尼) °C 120
电源电压  
真空计上 V (dc) +15 … +30
缆线最长的电源装置 (2) V (dc) +16 … +30
波纹 V (p-p) ≤1
功耗 W ≤2
可连接的保险丝 AT ≤1
输出信号(测量信号)  
电压范围 V 0 … +10.5
测量范围 V +1.82 … +8.6
电压与压强 logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号  
无电源 V <0.5
皮拉尼传感器,单丝断裂 V >9.5
输出电阻 2 x 10
最小负载电阻 kΩ 10, short-circuit proof
反应时间  
p > 10-6 毫巴 ms <10
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000
识别真空计 85, referenced to supply common
状态  
仅皮拉尼模式 V 0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
电气连接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆 8 poles plus shielding
电缆长度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压 kV ≤3.3
运行电流 µA ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
内部容积 cm³ ≈20
重量  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
保护类别 IP 40
标准  
CE 合规 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 没有电子和磁遮蔽。

2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-010 MPG400 真空计
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
351-998 维修包
351-995 起辉器
351-994 MPG40X 点火单元
351-999 维修保养套件
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

附件

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-023 磁屏蔽
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