直线运动馈入装置 CF

INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF / ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbarl/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 配有波纹管,可以满足更苛刻的真空要求
  • 直接推/拉启动
  • 使用测微螺丝进行高精度调节
  • 2011/65/EU RoHS 符合
  • Linear Motion Feedthroughs CF

规格

类型 FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z
真空连接 DN 16 CF-R DN 40 CF-R DN 16 CF-R DN 40 CF-R
馈入装置/密封圈 bellow bellow bellow bellow
轴连接 M4x16mm M6x10mm, Ø10mm M4x16mm M6x10mm, Ø10mm
驱动装置 manual manual micrometer screw micrometer screw
行程 mm 25 50 20 50
每转行程 mm ­ ­ 0.5 1
刻度 mm 5 10 0.01 0.005
轴负载        
最大径向力 N 20 100 20 100
轴向力真空 N 85 140 185 440
atm 受到的轴向力 N 100 200 200 500
扭矩 N•m 0.2 0.5 0.2 0.5
密封度 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
压力(绝对) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
烘烤温度        
馈入装置 °C 300 300 300 300
测微螺丝 °C ­ ­ 100 100
暴露于规程介质的材料 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
重量 kg 0.15 0.75 0.25 1

零件号

FPU016-H
零件号 明细
214-330 FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-H
零件号 明细
214-332 FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R
FPU016-Z
零件号 明细
214-334 FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-Z
零件号 明细
214-336 FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R
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