IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜沉积控制器。这种由 INFICON 设计和制造的产品是系统 OEM 或要将薄膜沉积控制器集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有组织的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 塔中。

无与伦比的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 传感器输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡(需要可选 IQS-233 软件),其最多可提供六个传感器输入和六个源输出。只有 INFICON 才能在完全集成的 PC 控制 QCM 控制器中提供这种灵活性。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容,因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单传感器头和双传感器头兼容。

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续沉积或共沉积过程。通过可选 IQS-233 共沉积 Windows® 软件可进行更加复杂的过程设置,包括多层共沉积、绘图以及与事件可选继电器/输入功能进行 PLC 集成。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233 所包含的 LabVIEW™ 采样程序可提供基本功能并演示编程技术。


功能

  • PCI Express
  • 三个传感器输入,三个控制输出
  • 在 PC 中安装多个卡
  • 多源共沉积
  • 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

规格

类型 IQM-233
PC 接口 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
传感器输入和性能  
探头输入 3
连接器 SMA - Includes one SMA/BNC adapter
频率分辨率 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
测量频率范围 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.12 Å
测量周期 0.1 to 2.0 s (adjustable)
输出  
源输出 3
连接器 15-pin high density D-sub
信号 0 to +/- 10 V (dc)
分辨率 15 Bit Plus Sign
阻抗 50 Ω
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

零件号

IQM-233
零件号 明细
782-IQM-233-G1 用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQM-233-G2 用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQS-233 IQS-233 共沉积软件

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
溅射传感器 溅射传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
零件号 明细
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only (未随附电缆)
783-500-013 仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
600-1441-P1 SMA 至 BNC 适配器,用于 IQM-233 传感器输入
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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