IC6 薄膜沉积控制器

不变的是卓越的表现

功能丰富的 IC6 提供提供最佳测量精度

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现沉积过程的最大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能,赋予您的过程卓越的可重复性。

功能

  • INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
  • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
  • 支持最多六个来源同时共沉积
  • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
  • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
  • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
  • 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统(使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器,14 TTL 输出),并充分利用逻辑功能(100 个逻辑语句)
  • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
  • 可容纳最多 50 个过程,每个过程 200 层,这些过程关联到一起,总共可容纳 10,000 层。
  • 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
  • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
  • 可选以太网通信
  • Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 高端光学镀膜

规格

类型 IC6
测量性能  
频率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.00433 Å
测量频率范围 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2) 0.5%
测量周期 0.10 s
多个测量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能  
Auto Z yes
自动色调 yes
共沉积 yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理  
材料计划 32
过程层(每个过程) 200
过程 50 (processes can be linked together)
USB 存储器 yes
数据记录 yes
硬件功能  
传感器 (3)  
8
双 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
通用 8
来源控制  
来源数量 (4) up to 6
来源控制电压 0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率 15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置 64
输入 / 输出  
输入 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4) 0 to +10 V, adjustable
逻辑语句 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
标准 RS232
可选 Ethernet
显示器  
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

操作  
电源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作温度 0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸,不包括安装件(高 x 宽 x 深) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量 23 lbs (10.5 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹

(2) 随过程变化;数值表示典型的精度

(3) 每种类型的最大配置

(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准,还可再选择再添加 6 个。  可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出,但可同时控制的来源数量为 6

IC6_OrderChart_2018_web.png

附件

名称 说明
前装式单传感器 前装式单传感器
前装式双传感器 前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器 炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器 炫酷抽屉双传感器
薄型双传感器 薄型双传感器
UHV 可烘烤传感器 UHV 可烘烤传感器
ALD 传感器 ALD 传感器
溅射传感器 溅射传感器
CrystalSix® 传感器 CrystalSix® 传感器
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12® 传感器 Crystal 12® 传感器
RSH-600 旋转式传感器 RSH-600 旋转式传感器
零件号 明细
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 CrystalTwo 开关,15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2 CrystalTwo 开关,50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits (包括振荡器和电缆)
781-611-G15 带 4.6 米(15 英尺)电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30 带 9.1 米(30 英尺)电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50 带 15.2 米(50 英尺)电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100 带 30.5 米(100 英尺)电缆的 XIU PKG - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15 带 4.6 米(15 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30 带 9.1 米(30 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50 带 15.2 米(50 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100 带 30.5 米(100 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU - 包括 4 米真空电缆和 6 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15 带 4.6 米(15 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30 带 9.1 米(30 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50 带 15.2 米(50 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100 带 30.5 米(100 英尺)XIU 电缆的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空电缆和 20 英寸 BNC(XIU 至馈入件)电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only (未随附电缆)
781-600-G1 XIU(振荡器)- 用于长度为 15 至 183 厘米(6 至 72 英寸)的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2 XIU(振荡器)- 用于长度为 3 至 4 米(118 至 157 英寸)的 XIU 至传感器头电缆 - 与 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
600-1261-P100 30.5 米(100 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P15 4.6 米(15 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30 9.1 米(30 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50 15.2 米(50 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
755-257-G6 15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,XIU 至真空馈入件
Configuration Editor Software
781-620-G1 IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体
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