HPG400 大气压到高真空真空计

 

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。

好处

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
  • 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制
  • 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
  • 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
  • 工业镀膜
  • 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制
  • HPG400 High Pressure Ionisation Gauge

规格

类型 HPG400
测量范围(空气,N2 2×10-6 … 1000
精度  
10-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 (1)
可重复性  
10-5 … 10-1 毫巴 % of reading 2
10-1 … 100 毫巴 % of reading 30
热离子发射,可选:  
选购件 1 mbar 1
选购件 2 mbar 5×10-1
选购件 3 mbar 2×10-1
选购件 4 mbar 1×10-1
选购件 5 mbar 5×10-2
压力,最大 bar (absolute) 2
温度  
运行(环境) °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤 °C 80
移除烘烤电子设备 °C 150
电源电压 20 … 28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … +10.2
测量范围热阴极 V 1.5 … 7.5
测量范围皮拉尼 V 8.5 … 9.75
电压比压强热阴极 volts per decade 1
电压与压强皮拉尼 volts per decade 0.25
错误信号热阴极 V 0.3
错误信号皮拉尼 V 0.5
最小负载电阻 kΩ 10
接口(数字)(2) RS232C
电气连接 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF g 430 / 695
保护等级 IP30
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模 up to 64 nodes per segment
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 2×10-6 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
DeviceNet™ 电源电压 11 … 25
真空计电源电压 V (dc) 20 … 28
DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin
HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 2×10-6 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female
HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male

(1) 准确度为 10-5 mbar 至激发所选热电离辐射的值

(2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

(3) 用于 <30m 的 RS232C 运行

零件号

HPG400
零件号 明细
353-520 皮拉尼真空计
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
354-487 HPG400 备用传感器
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

附件

HPG400
零件号 明细
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
353-511 BPG400 24V电源
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

备件

HPG400
零件号 明细
354-487 HPG400 备用传感器
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
发送给好友