UL5000 干式氦气检漏仪

ULTRATEST™ 传感器技术

 

定义泄漏检测的速率和准确性

INFICON UL5000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL5000 采用经过领域验证的真空设计,内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S,可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果,确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。

 UL5000 在所有测试范围内均可实现快速响应,从达到测试条件到获得最终结果的周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应,能够满足您的需求。

好处

  • HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
  • I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
  • 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率,从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
  • 前置涡轮分子泵可以对任何测试对象(包括最大容量和最大腔室)提供极其快速的响应。
  • 经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计,历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
  • 自我保护功能可保护 UL5000 免受氦气和粒子污染,甚至还设有自动冲净周期,确保 UL5000 随时可用。
  • 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
  • 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制,从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。
  • 通过电子邮件升级软件,确保您的 UL5000 始终处于最佳工作状态。
  • 新型工作站设计,带有最佳高度的工作台面,并且配备有防静电台垫和工具箱,便于测试。

典型应用

  • 半导体和平板显示器工具上测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
  • 半导体和平板工具泄漏测试
  • 航空元件、部件和系统泄漏测试
  • 储存容器/储罐的泄漏测试

规格

类型 UL5000 Helium Leak Detector
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s

< 5 • 10-12

氦气(吸枪模式)最低可检漏率 mbar•L/s 8E-8
GROSS 模式最大进气口压力 mbar 15
FINE 模式最大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式最大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max 8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s max 20
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s >20
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180 °C
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准测试漏孔 E-7
测试端口 DN40KF
可调触发器 2
接口 RS232
图形记录器输出 2 x10 V
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中) °C +10...+40
重量 140
尺寸(长x宽x高) 1068x530x1083
电源电压 230(+-10%)50Hz
功耗 VA 1100

零件号

UL5000 Helium Leak Detector
零件号 明细
550-500A ULTRATEST UL5000, 230V, 50Hz, EU
550-501A ULTRATEST UL5000, 100/115V, 50/60Hz, US

附件

UL5000 Helium Leak Detector
零件号 明细
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-020 RC1000WL 用无线发射机
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