UL1000 Fab

 

ULTRATEST™ 传感器技术

 

工业真空和半导体制造中真空泄漏检测的“干式”标准

 

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。

 

通过仪器的干式泵技术,可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供最先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限,具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性,方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制(iZERO)功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试。

 

所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间,同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。

 

好处

  • 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
  • 通过使用可选的背景抑制(Izero),避免需要进行多次泄漏测试。
  • 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
  • 通过耐用的两个热丝离子源(三年保修)和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
  • 通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
  • 通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

  • 对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
  • 在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
  • 真空工具的维护工作,无论是否有泵的支持
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s

< 5 • 10-12

氦气(吸枪模式)最低可检漏率 mbar•L/s

< 5·10-8

GROSS 模式最大进气口压力 mbar 15
FINE 模式最大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式最大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max. 8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准漏孔 mbar•L/s

∼ 10-7

测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器

2

接口 RS 232
图形记录器输出 V 2 x10
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中) °C +10 to +40
重量 110
尺寸(长x宽x高) 1050 x 472 x 987
电源电压 (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
电源电压 (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗 (typ.) VA 1100
功耗 (typ.) VA 1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000 Toolbox, detachable,for UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-020 RC1000WL 用无线发射机
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