Guardian™ EIES 控制器

可同时沉积至多八种材料

CIGS 薄膜的理想之选

Guardian 可将沉积速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范围内。它可以操作一个或两个传感器,最多 8 个光输入,并控制最多 8 个沉积源,因此能够同时沉积最多 8 种材料。

INFICON Guardian 是光伏模块、有机发光二极管、光伏、超导薄膜以及分子束外延制造等应用的理想之选。

Guardian Codeposition 系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。利用 EIES,要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热,从而产生光子。产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器,光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。然后,INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。配备了合适滤光器的其他检测仪可用于多种材料。

一套完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测仪、一个滤光器、一个 Guardian 控制器单元以及一台安装了 Guardian 软件的电脑(由用户提供)。EIES 通常用于控制多种材料的沉积,因此,大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件(例如分裂器)以及 QCM,QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。如需关于典型系统的更多信息,请参阅下面的 Downloads(下载)选项卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉积系统,需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长为多少?

如果不同材料的峰值过于相近,您可能需要监控二级发射波长,二级波长的信号强度较弱。

在沉积过程中,真空室中存在哪些本底气体?这些本底气体的发射波长是多少?

如果本底气体的发射干扰了沉积材料,则建议使用气体补偿传感器。

对于特定发射光谱的原子种类,EIES 最为有效。分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽,无法准确测量。不建议将 EIES 用于有机材料。各个具体应用的最佳 EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。

功能

  • 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
  • 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
  • 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
  • 12 个继电器输出和 12 个数字输入
  • 用于设置与操作的基于 Windows 的软件
  • 与 INFICON Sentinel® 传感器兼容

规格

类型 Guardian EIES Controller
传感器  
工作压力 <5x10-4 Torr
温度 450° C maximum during operation and/or bakeout
尺寸(近似) 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
丝极寿命(典型值) ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
传感器馈入件连杆 Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
馈入件 / 法兰 One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
检测器  
光电倍增管 (PMT) Hamamatsu R7518 or equivalent
光谱响应 185 to 730 nm
检测限值 Better than 5 fW of optical input power
PMT 增益 103 to 107 (detectors are independently adjustable)
输出分辨率 20-bit
光入射口 Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
尺寸 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
控制器  
传感器

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

检测器 Eight optical detector channels
控制输出 Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
数字 I/O 12 relay outputs and 12 logic inputs
功率 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
尺寸 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
合规性 CE
用户界面软件: Windows®-based setup program included with Controller
软件显示沉积速率: 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 Å/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
软件显示厚度: 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 KÅ
用户自备计算机: Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

零件号

Guardian EIES Controller
零件号 明细
782-900-031 用于单传感器(标准或气体补偿)的 Guardian 控制器
782-900-050 用于双传感器(标准或气体补偿)的 Guardian 控制器

附件

零件号 明细
EIES Sensors
016-600-G22 Guardian 标准单传感器和馈入件组件,22 in. (539 mm),CF40 法兰
016-601-G22 Guardian 气体补偿传感器和馈入件组件,22 in. (539 mm),CF40 法兰
Beam Splitters 光纤分束器可分割传感器发出的光束以便于每个 EIES 传感器测量多种材料。
782-900-034 Guardian 光纤分束器 (1:3) - 400 mm 长
782-900-034-x-yyy Guardian 光纤分束器 (1:x) - yyy mm 长
Filament Cables 将 EIES 传感器连接到 Guardian 控制器
600-1406-P10 Guardian 单丝电缆,10 ft. (3 m) – 用于标准 EIES 传感器
600-1406-P40 Guardian 单丝电缆,40 ft. (12 m) – 用于标准 EIES 传感器
600-1407-P10 Guardian 双丝电缆,10 ft. (3m) – 用于气体补偿 EIES 传感器
600-1407-P40 Guardian 双丝电缆,40 ft. (12 m) – 用于气体补偿 EIES 传感器
PMT Detector
782-900-030 Guardian PMT 检测器
PMT Detector Cables 将 PMT 检测器连接到 Guardian 控制器
782-505-065 Guardian 检测器电缆,10 ft. (3 m)
782-505-065-40 Guardian 检测器电缆,40 ft. (12 m)
Optical Filters 选择适合您材料的波长
782-900-035-202 光纤 - 202nm,BP10nm (Zn)
782-900-035-241 光纤 - 241nm,BP10nm(Co、Au)
782-900-035-252 光纤 - 252nm,BP10nm (Si)
782-900-035-265 光纤 - 265nm,BP10nm(Ge、Pt、Ta、Ir)
782-900-035-267 Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294 光纤 294nm,BP2nm (Hf)(Ga [使用气体补偿传感器时])
782-900-035-304 光纤 304nm,BP2nm(Ba、In [使用气体补偿传感器时])
782-900-035-325 光纤 - 325nm,BP10nm(Cu、Cd)
782-900-035-358 光纤 - 358nm,BP10nm(Nb、U、Cr)
782-900-035-364 光纤 - 364nm,BP10nm(Ti、Pb)
782-900-035-396 光纤 - 396nm,BP10nm (Al)
782-900-035-417 光纤 - 417nm,BP2nm (Ga)
782-900-035-451 光纤 - 451nm,BP5nm (In)
782-900-070 Guardian 单色仪套件

备件

零件号 明细
016-201-G1 Emitter Assembly, EIES Sensor
782-900-038 Guardian 光电倍增管更换
016-509-G22 In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015 Guardian 传感器丝极更换(用于中断的 782-900-029 和 -052 传感器)
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