前装式双传感器

INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性,提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。双传感器可提供备用晶体,这对于真空腔室中需要有第二个晶体的关键过程至关重要。

由于采用前装式设计,可以在缺少侧面插入空间的应用中轻松地插入晶体支架。经机械装配而成,而不是焊接在一起,因此,您能够在现场方便地更换其部件(如有必要)。传感器可单独订购,或以传感器/馈入件组合的形式订购,该组合可焊接在一起,或通过压缩接头装配在一起。

功能

  • 双晶体
  • 晶体闸
  • 前装式晶体支架
  • 易于安装
  • 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置及 CF40 馈入装置
  • 在配有压缩接头时可调长度
  • 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊
  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入装置组合

规格

类型 Front Load Dual Sensor
无水时的最高烘烤温度 130° C
最小水流时的最高工作等温环境温度 400 ° C
尺寸(无闸门的最大外壳) 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
水管和同轴长度,“E”传感器 Standard 30 in. (762 mm)
晶体交换 Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
安装 Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
安装要求  
馈入件

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

其他

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

实用工具

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

水质 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
材料  
主体和支架 304 Type stainless steel
弹簧 Au plated Be-Cu
水管 S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
连接器 (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
绝缘体 >99% Al2O3
电线 Teflon insulated copper
其他机械部件 304 or 18-8 stainless steel
铜焊 Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
晶体 0.550 in. (13.97 mm) diameter
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接的馈入件规格:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 (2 3/4 in. ConFlat) 焊接式端接馈入件规格:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称 说明
QCM 传感器馈入件 QCM 传感器馈入件
Front Load Dual Sensor
零件号 明细
750-420-G1 电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

备件

Front Load Dual Sensor
零件号 明细
007-007 止动弹簧(用于晶体支架)
007-023 陶瓷夹持器
080-018 固定螺钉(用于母型同轴)
082-044 Teflon 螺钉(用于片簧)
750-115-P4 联轴器(安装到波纹管组件)
750-169-P2 波纹管组件(不包括联轴器)
750-171-P1 指形弹簧触点
750-172-G1 晶体支架(包括止动弹簧)
750-174-P2 母型同轴
750-175-P1 绝缘体(片簧下面)
750-188-P3 片簧
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-210-G1 闸门模块(波纹管组件、轴组件和闸门组件)
750-215-G1 轴组件(闸门模块的组成部分)
750-216-G1 闸门组件(闸门模块的组成部分)
In-vacuum cables
321-039-G12 真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252 真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11 真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044 真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059 真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061 真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13 真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14 真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15 真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16 真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
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