QCM 传感器馈入件


INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件,以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头,用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式(KF40 等),因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。

除非另行说明,否则典型的馈入件电气连接包含一个同轴 BNC 连接器(大气端)和一个 Microdot® 连接器(真空端)。此款式的电气连接旨在与真空电缆传感器(例如 INFICON 前装式单传感器前装式双传感器溅射传感器CrystalSixCrystal 12 传感器配合使用。

备注:水和空气馈入管的外径为 4.8 mm (3/16 in.)。


下表是根据传感器类型提供的馈入要求和部件号快速参考。

功能

  • 提供 2.54 厘米(1 英寸)螺栓或 CF40(2.75 英寸 ConFlat®)款式
  • 可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
  • 提供自定义馈入件配置
  • 根据要求可提供其他馈入件款式

零件号

QCM Sensor Feedthroughs
零件号 明细
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs (附带 VITON® O 形密封圈)
002-042 1 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
750-030-G1 1 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道
750-707-G1 1 英寸螺栓馈入件,2 根同轴电缆,3 个管道
750-624-G1 1 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
783-501-013 1 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆、2 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs (包括铜垫圈)
002-043 CF40 馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
750-685-G1 CF40 馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道
002-080 CF40 馈入件,2 根同轴电缆,3 个管道
750-683-G1 CF40 馈入件,1 根同轴电缆,4 个管道
206-878-G2 CF40 螺栓馈入件,1 根同轴电缆、2 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
750-685-G2 CF40 螺栓馈入件,1 根同轴电缆、3 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
206-890-G2 CF40 螺栓馈入件,2 根同轴电缆、3 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
KF40 Feedthroughs (附带 VITON® O 形密封圈)
130246 KF40 馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
130239 KF40 馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道

附件

名称 说明
带蝶形螺母的夹环 带蝶形螺母的夹环
QCM Sensor Feedthroughs
零件号 明细
782-902-022 BNC 到 Microdot® 适配器电缆,15.2 厘米(6 英寸)

备件

QCM Sensor Feedthroughs
零件号 明细
002-064 四环垫圈,VITON®,CF40
012-328 铜垫圈
070-0237 O 形密封圈,VITON®,2.54 厘米(1 英寸)螺栓
211-003 卡箍 DN 32-40 ISO-KF
211-070 中心环组件 DN 40 ISO-KF, Inox / FPM
发送给好友


相关产品