FabGuard® FDC

 

整个工厂范围,特定于过程


FabGuard FDC 将在线故障检测和分类 (FDC) 功能与强大工具相结合,让工厂工程师能够轻松快速分析过程和设备的几乎所有特性。任何其他系统在防止晶圆损失、减少意外工具停工和提高良率方面的表现都无法与我们的产品相提并论。

无论是晶圆尺寸还是产品几何形状,及时的信息都是保持工厂生产率和竞争力的关键因素。削减成本的压力日益增加,使得最大限度提高工厂生产力、减少废弃晶圆数量以及最大化设备利用率显得至关重要。FabGuard 结合了对维护工厂先进生产力驾轻就熟的统计员和工程师的丰富经验,让当今半导体制造业所面临的挑战迎刃而解。FabGuard FDC 的构建秉承一个原则:过程和设备知识是实现顺畅工厂操作的关键所在。

 

重新定义 FDC - FabGuard 检测和分类



FabGuard FDC 能够实现从详细的亲身操作具体知识到工厂级统计过程控制的所有级别 FDC 工程。

FabGuard 是唯一结合了工厂级 FDC 系统扫频功能与生产工艺和设备故障排除所需的工具特有的数据分析功能的系统。既定工厂统计过程控制 (SPC) 方法可以轻松编程到 FabGuard 中,从而增强实时工具阻止功能的优势。检测故障时立即应用工具阻止功能,可大幅减少晶圆碎片。检测到失去控制的状况时,FabGuard 可以立即做出反应,停止存在问题的工具。


FabGuard FDC 专家系统了解您的过程并识别其中的问题


SPC 规则通常发挥着避免产品损失的第一道防线作用。此外,FabGuard 还提供其他级别的保护作用 – 可培训专家系统。工厂工程师可以对 FabGuard 进行培训,使其能够在出现新问题时识别问题,并在问题再次发生时自动检测问题。工厂工程师所掌握的问题解决技巧可以轻松转化为 FabGuard 配方,用来对任何工具任何腔室上的任何过程步骤实施监控。FabGuard 专家系统功能与基于 SPC 的工具阻止功能并行运行,允许过程和设备工程师对 FabGuard 进行培训,使其能够识别 SPC 方法可能无法检测的问题。FabGuard 专家系统允许将这些工程技巧编入 FabGuard,以提高晶圆保护并增强故障识别的水平。

 

工厂范围的保护


FabGuard FDC 系统可在工厂层级部署并可保持在此层级,实现对所有晶圆过程设备执行实时统计过程控制 (SPC)。单个用户界面允许工程师对工具和过程数据进行排序、显示和分析,极其灵活,易于使用。

  • 工厂工程师拥有强大的基于工具的数据可视化能力,能够分析设备和过程的所有特性。
  • 过程工程师可以立即确定设备状态与晶圆产量的关系。
  • 设备工程师可以快速诊断工具问题,减少计划外停工时间。过程腔室之间可以进行比较和匹配。


工具、传感器和仪表 集成

 

在恰当的时候收集正确的数据对 检测偏移和确定过程特征尤为重要。除了进行 FDC 分析和偏移监控之外,FabGuard 还可作为集成平台 ,使工程师能够从各种备选数据源广泛收集数据。 FabGuard 架构可轻松集成新的传感器和 仪表。

 

  • SECS
  • OPC
  • 高速模拟
  • INFICON 传感器(RGA、 OES、RF/DC 电弧检测)
  • 第三方传感器和 仪表

 


可扩展性、可持续性


数据会加以存档,分析结果会存储在一个关系数据库中。FabGuard 支持 Microsoft®SQL、PostgreSQL 或 Oracle® 数据库。硬件冗余可以通过一个基于工具的系统(该系统能够从一个工具轻松扩展到整个工厂中的数百个工具)予以消除。FDC 工程师可以通过一个单一且易于使用的 Web 界面对所有信息进行排序和查看。整个工厂的信息格式保持一致增强了学习能力,促进在不同过程和设备小组之间共享信息。警报、报告和工具阻止功能可以根据用户组的特定需要及具体的设备环境加以配置。INFICON 在领先的全球工厂中利用其丰富的经验建立了系统模板,一采用之后立即获得了回报。

实时 SPC 与专业系统功能的组合让 FabGuard FDC 成为现有最强大的问题检测系统,用于预防晶圆损失和减少意外设备停工时间。

功能

  • 为过程控制和故障查找提供的批次分析和实时分析,可减少碎片并改进过程控制
  • 设备和传感器数据的无缝集成允许分析来自多个来源的数据
  • 任务系统自动生成报告并执行系统维护,以大大减少系统管理
  • 为所有工具数据提供统一的用户界面,可降低学习难度
  • 故障分类有助于更快地响应问题,从而将停工时间缩至最短
  • 全面分析工具/过程状况,为预防性维护人员提供帮助。
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