Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴

 

INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温,并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。

好处

  • 紧凑型,节省宝贵的工具空间
  • 易于集成,各种满刻度、法兰,标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • CVD、蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程
  • tina__e1 CDG100D2 Edge Massbild mit EtherCAT.png

规格

类型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 0.15
温度效应    
零点 percent FS/°C 0.0025 0.0025
满量程 % of reading / °C 0.02 0.02
压力,最大 kPa (absolute) 400 260
分辨率 percent FS 0.003 0.003
最低读数 percent FS 0.01 0.01
建议的最低读数 percent FS 0.05 0.05
建议的最低控制压力 percent FS 0.5 0.5
温度    
传感器 °C 100 100
运行(周围环境)(5) °C +10 … +50 +10 … +50
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +65 –40 … +65
电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗    
加热时 W ≤20 ≤20
运行温度 W ≤14 ≤14
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 30 30
保护等级 IP 40 IP 40
标准    
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 (5) SEMI S2  
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点    
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1
诊断端口    
协议 RS232-C RS232-C
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积    
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
数据率 Kbps 100000 100000
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS  

(3) 仅用于压力控制类型

(4) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁

(5) 环境温度 > 40°C 可能会使表面温度升高到 SEMI S2 合规水平以上。

CDG100D2 Edge PIM Ordering Information.png
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