UL3000 Fab (PLUS) 干式氦气检漏仪

 

INFICON 氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS) 针对半导体应用中的检漏需要而设计。 


它具有灵活、可移动、启动快速、灵敏度高、测试结果快速而精确以及可靠的优点。

 

快速获得结果
利用低维护真空泵改良过的真空系统的检漏限可达到大气压。牢固的质谱仪系统确保长时间运行和低维护成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 软件可消除水蒸气背景,使泄漏测试的速度变得更快。 


UL3000 Fab PLUS 还可利用非常成熟的吸枪管路 SL3000(长度可达 10 m)来提高吸枪功能。

 

可旋转和远程控制的显示器
新式触屏显示器即使在很远的距离上仍可显示测试结果和状态信息。即使是没有经验的操作员,也可通过用户引导式菜单结构轻松地操作。UL3000 Fab (PLUS) 能够通过智能手机或平板电脑实现无线控制 - 无需特殊软件或应用。通过按钮录制和存储的测试结果可传输到其他存储介质以进一步分析。

 

小巧的设计带来出众的机动性
低重心、大轮子、人机工程学设计手柄和小巧的外壳使 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狭小空间中活动性仍然出色。



好处

  • 可在大气压力下测量
  • 直观的用户指南与触摸屏显示器
  • 坚固耐用的真空系统,不易受灰尘和污染物影响
  • 转弯半径小,移动性能出色
  • 可使用智能手机通过网络浏览器进行操作
  • 设备上已附带配件

典型应用

  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
  • 在对检测条件和清洁度要求严苛的环境中进行的泄漏检测

规格

类型 Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
氦气(真空模式)最低可检漏率 mbar•L/s < 5·10-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率 mbar•L/s

< 5·10-8

MASSIVE 模式最大进气口压力 mbar 1000
FINE 模式最大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式最大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h > 30 at 50 Hz
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 4
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准漏孔 mbar•L/s

∼ 10-7

测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器

4

接口 2 x USB, Ethernet / LAN
允许的环境温度(操作过程中) °C +10 to +40
输入/输出 Via I/O 1000 module
重量 110
尺寸(长x宽x高) 1050 x 472 x 987
电源电压 V (ac) 100 to 240 V (± 10 % ) 50/60 Hz
功耗 VA Typical 700, max. 1500

零件号

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号 明细
550-200 ULTRATEST UL3000 Fab
550-250 ULTRATEST UL3000 Fab PLUS

附件

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号 明细
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
551-205 extension cable for TC1000/SL200, UL3000
560-310 I/O 1000 模块
560-335 数据电缆(5 米)
560-340 数据电缆(10 米)
525-001 3米吸枪
525-002 5米吸枪
525-003 SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-201 Helium Bottle Holder for UL3000 Fab
551-203 Bracket for SL3000
发送给好友