CrystalSix® 传感器

INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体,为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时,CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下,会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的,不会中断您的过程,支持持续监控沉积速率。

 

晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机,这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性,并提供晶体位置的灵活性。

 

与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时,传感器提供位置反馈,因此可针对特定的材料安排特定的位置。

功能

  • 装有 6 颗晶体,可进行可靠的自动转换,从而最大限度延长过程运行时间
  • 晶体转换由空气驱动完成(竞争产品是使用生热电机),因而晶体温度非常稳定
  • 1/8" 管保持热稳定性,并提供传感器放置的灵活性
  • 提供可选晶体闸

规格

类型 CrystalSix Sensor
无水时的最高烘烤温度 130°C
最小水流时的最高工作等温环境温度 400° C
水、空气和同轴长度 Standard 30 in. (76 cm)
晶体交换 Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
安装 Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
尺寸(最大外壳) 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
安装要求  
馈入件

Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

 or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

 

其他

User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

实用工具  
最小水流

150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

可调节的空气源 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
材料  
板、支架、材料罩、机械部件 304 type stainless steel
弹簧、电气触点 Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
水管和空气管 S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
连接器 (Microdot®) Stainless steel
绝缘体 >99% Al2O3
电缆 Teflon® insulated copper
晶体 0.550 in. Diameter
主体和圆盘 2024 T351 Aluminum

零件号

CrystalSix Sensor
零件号 明细
750-446-G1 CrystalSix 传感器(仅传感器,不包括馈入件)

附件

名称 说明
QCM 传感器馈入件 QCM 传感器馈入件
CrystalSix Sensor
零件号 明细
750-420-G1 电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

备件

CrystalSix Sensor
零件号 明细
007-007 止动弹簧(用于晶体支架)
007-023 陶瓷夹持器
070-0170 2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-0398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN
070-0777 Compression Spring, CrystalSix
070-0778 Ball Bearing, CrystalSix
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
070-0870 Washer, Teflon, CrystalSix
070-0877 Shim Spacer, CrystalSix
070-0879 Ball Bearing, CrystalSix
073-114 .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-175-P1 绝缘体(片簧下面)
750-188-P3 片簧
750-249-P2 Retaining Pin, CrystalSix Sensor
750-250-G1 Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2 Extension Spring
750-257-P3 Corrugated Spring, CrystalSix Sensor
750-261-G1 Carousel Assembly, CrystalSix Sensor
750-262-G1 晶体支架
750-265-G1 Top Plate Weld Assembly, CrystalSix
750-276-P2 DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-278-P2 DET,WATER LINE
750-286-P2 Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
750-290-P3 Electrical Contact, CrystalSix Sensor
750-291-P1 Detent, CrystalSix/Crystal 12
750-293-P2 Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-294-P2 Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-295-G1 Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
750-336-G1 电阻网络组件
750-338-P1 DET, CONTACT INSULATOR
In-vacuum cables
321-039-G12 真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252 真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11 真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044 真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059 真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061 真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13 真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14 真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15 真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16 真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
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