炫酷抽屉双传感器

炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。拥有水冷浇铸不锈钢传感器壳体、两个炫酷抽屉晶体支架以及一个气动闸门,可以为坚固耐用的传感器头提供超高的备份晶体可靠性。腔室中没有同轴电缆,可以进行更纯净、更可靠的真空系统安装。

功能

  • 双晶体
  • 炫酷抽屉晶体支架
  • 无内部电缆
  • 晶体闸
  • 还提供:CF40 馈入装置和 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置
  • 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤
  • 在配有压缩接头时可调长度
  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入装置组合

规格

类型 Cool Drawer Dual Sensor
表面加工 Stainless steel, gold plated Cool Drawer™
冷却水 Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)
晶体 Industry standard 0.550 in. diameter
空气源 55 to 60 PSI regulated
电气连接 Two standard female BNCs on atmosphere side
1 in. 螺栓和压缩接头密封端接  
材料 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接  
材料 304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 200° C without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat® type flanges
CDD Part Number.png

附件

Cool Drawer Dual Sensor
零件号 明细
750-420-G1 电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

备件

Cool Drawer Dual Sensor
零件号 明细
123259 炫酷抽屉传感器晶体夹持器
123261 炫酷抽屉传感器抽屉
123260 炫酷抽屉传感器抽屉和夹持器组件
147206-2 Bellows, 35 in. Tube, Cool Drawer Sensor
147207 Bellows and Cover, Cool Drawer Sensor
147401 Shutter, Cool Drawer Dual Sensor
147402 Link, Cool Drawer Sensor
147403 ACTUATOR - DUAL SENSOR HEAD
147406 * 波纹管支架
147407 RETAINER BELLOWS COVER POLISHED
147408 Threaded Bar 2x56 for Bellows
147411 Spacer, Cool Drawer Sensor
147424 Bellows Guide Tube Electropol
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
082-064 * 紧锁垫圈
084-205 * #4-40 x 3/16 十字槽螺钉
800128 LCKWSHR SPLIT #4 - USE 070-201 / 084-054
800371 4-40 Stainless Steel .187 Shoulder Screw
800372 WASHER .174 IDx.309 OD x .060
800416 * 6-32 x 3/16 in. 固定螺钉
803313 Spring, 0.360 in. x 1.000 in. x .032 in.
123223-2 导管铜焊组件 – 短引脚
803102 用于 5 端口可调馈入件的 O 形密封圈
803261 WASHER .235OD X .134ID X .030 302-304 S
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