SKY® CDG100D
100°C温控,满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!
INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
优势
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
- 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
规格
精度 | % of reading | 0.2 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.2 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.4 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 130 / 30 (3) |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |