SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色,预计寿命可达到数百万个加压循环,包括突发大气压。独有的传感器屏蔽(专利申请中)可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

好处

  • 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
  • 电源接通后快速稳定
  • 暴露于大气压后快速恢复
  • 防腐蚀陶瓷传感器
  • 卓越的长期信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器受防污染保护
  • 一键调零功能
  • 宽范围电源

典型应用

  • 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
  • 数据存储和显示器制造设备
  • 工业真空设备
  • 经济、高度精确的压力测量
  • CDG025D dimensions

规格

类型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度效应          
零点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
压力,最大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反应时间 (2) ms 30 30 30 130 130
最低读数 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建议的最低读数 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建议的最低控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
运行(环境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法兰处烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
电源电压 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保护等级 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
标准          
CE 合规 EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点 (4)          
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 30 30 30 30 30
滞后 percent FS 1 1 1 1 1
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积          
1/2'' 管 cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2'' 管 g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS

(3) 非运行

(4) 仅限 CDG025D-S

(5) 28% 镍,23% 钼,49% 铁

(6) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁

CDG025D PN.png
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