BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

 

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。

 

这种 Bayard 热电离(双丝极)皮拉尼结合真空计 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列热电离皮拉尼发射器:

 

材料编号类型材料编号类型
353-570BPG402-SDN 25 ISO-KF=230 250ITR 200 SDN25 KF
353-574BPG402-SPProfiBus,DN 25 ISO-KF=230 252ITR 200 SPDN25 KF,PB
353-571BPG402-SDN 40 CF-R=230 254ITR 200 SDN40 CF-R
353-576BPG402-SDDeviceNet,DN 25 ISO-KF=230 253ITR 200SDDN25 KF,DevNet
353-575BPSG402-SPProfiBus,DN 40 CF-R=230 256ITR 200 SPDN40CF-R,PB
353-577BPG402-SDDeviceNet,DN 40 CF-R=230 257ITR 200 SDDN40 CF-R,DevNet
353-572BPG402-SLCD,DN 25 ISO-KF=230 251ITR 200 SDN25 KF,显示屏
353-573BPG402-SLCD,DN 40 CF-R=230 255ITR 200 SDN40 CF-R,显示屏
353-578BPG402-SLDN 40 CF-R,长管=230 258ITR 200 SLDN40 CF-R,长管
354-494BPG402备用传感器 DN25 KF=240 020ITR 200 S备用传感器 DN25 KF
354-495BPG402备用传感器,DN40 CF-R=240 021ITR 200 S备用传感器,DN40 CF-R
354-496BPG402-SL备用传感器,DN40 CF-R=240 022ITR 200 SL备用传感器,DN40 CF-R

好处

  • Direct replacement for ITR 200 series
  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护单丝,防止过早烧毁
  • 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
  • RoHS 合规

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

现有全新EtherCAT数字接口供应!

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规格

类型 BPG402-S
测量范围(空气、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力,最大 bar (absolute) 2
温度  
运行(环境) °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤,无电子设备 BPG402-S °C 80
无电子设备,在法兰处烘烤 BPG402-SL °C 150
电源电压 +20 … +28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 V +0.774 … +10
电压与压强 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5
最小负载电阻 kΩ 10
设定点继电器  
设定点数量 1
范围 mbar 1×10-9 … 100
继电器触点 n.o., potential free
滞后 % of reading 10
触点额定值 ≤30
数字功能 degas
接口(数字)(2) RS232C
发射控制 automatic / manual via interface
单丝 two Yt2O3 coated Ir
单丝状态/继电器 LED / relay
电气连接 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保护等级 IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 ≤30
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 ≤30
DeviceNet™ 电源电压 +11 … +25
真空计电源电压 +20 … +28
DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
以太网  
以太网协议 protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址 Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information
以太网连接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330)

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

BPG402-S
零件号 明细
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 真空计
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 型真空计
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-494 BPG402 感应器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
354-496 BPG402-SL Spare measurement system DN40C
353-511 BPG400 24V电源

附件

BPG402-S
零件号 明细
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
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