BPG400 大气压至超高真空真空计

 

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中,测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 选择BPG400真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。

好处

  • direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters
  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
  • 使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • RoHS 合规
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

Direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

规格

类型 BPG400
测量范围(空气、O2、CO、N2 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力,最大 bar (absolute) 2
温度  
运行(环境) °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤,有延伸件 °C 150
在法兰处烘烤,无延伸件 °C 80
移除烘烤电子设备 °C 150
电源电压 +20 … +28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 V +0.774 … +10
电压与压强 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.3 / 0.5
最小负载电阻 kΩ 10
接口(数字)(2) RS232C
电气连接 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保护等级 IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器: 设定点数量 2
设定点继电器: 范围 mbar 1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点 n.o., potential free
设定点继电器: 滞后 % of reading 10
设定点继电器: 触点额定值 60
DeviceNet™ 电源电压 +11 … +25
真空计电源电压 +20 … +28
DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 D-Sub, 15-pin, male

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列,不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

BPG400
零件号 明细
353-500 BPG400 规管
353-501 BPG400 规管
353-502 BPG400 规管
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 复合真空规
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-490 BPG400 备用传感器
354-491 BPG400 备用传感器
353-511 BPG400 24V电源

附件

BPG400
零件号 明细
353-510 100 mm sensor extension tube
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

数据表

手册

手册

三维步骤文件

其他文件

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