BAG402 中到超高真空真空计

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

好处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
  • 超压检测保护丝极,防止过早烧毁
  • 双长使用寿命氧化钇铱丝
  • 自动发射电流选择降低了控制复杂性
  • 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

规格

类型 BAG402
测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压强, 最大 bar (absolute) 2
温度  
操作 (环境) °C 0 … +50
储存 °C -20 … +70
法兰口的烘烤,不带BPG402-S电子单元 °C 80
供电电压 +20 … +28
输出信号模拟 (4)  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 log / lin V 0 … +9
电压 vs. 压强 volts per decade 1
错误信号 V > +10
负载阻抗, 最小 kΩ 10
第二模拟输出 none
设点继电器  
设定点数量 none
范围  
继电器触点  
滞后  
触点额定值  
数字功能 degas and emission
接口 (数字) (2) Diagnosis port
发射控制 manual
灯丝 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
灯丝状态 / 继电器 LED / relay
电气连接 D-Sub, 9-pin, male
电缆长度,最大值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保护级别 IP30

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

零件号

BAG402
零件号 明细
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

附件

BAG402
零件号 明细
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

备件

BAG402
零件号 明细
354-484 备用传感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 备用传感器 BAG402 DN 40 CF-R
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