BAG302 中到超高真空真空计

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口,提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计,使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程,并提供高价值/低拥有成本的选择。

好处

  • 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
  • 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
  • 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
  • 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
  • 用户可编程的设定点继电器
  • 用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa
  • 用户可选的发射电流自动设换范围
  • 机械强度和坚固性
  • 各种法兰的选择
  • 易于更换的传感元件
  • 合规和标准:CE、RoHS
  • 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)

    (Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

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  • BAG302 Dimensional drawing.png

规格

类型 BAG302
测量范围 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
精度 (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
可重复性 % of reading ±5
脱气  
p < 6.7 x 10-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00 x 10-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
温度  
运行(环境) °C 0 ... +40
存储 °C -40 ... +70
法兰处烘烤(仅限传感器,已拆下电子元件) °C 200
电源电压 V (dc) +20 ... +28
模拟输出信号 V 0 ... +9 (log-linear)
电压与压力 volts per decade 1
设定点继电器 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
电气连接 D-Sub, 9-pin, male for analog, D-Sub, 9-pin, female for RS485
接口(数字式) RS485
发射控制 manual
丝极 two Yt2O2 coated Ir
丝极状态 display / digital output
数字功能 degas, filament on/off and emission control
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
安装方向 any
内部容积 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
重量 KF / CF 270
BAG302 Ordering Information.PNG
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