宽范围真空计

 

INFICON 大量程真空计设计紧凑,具有卓越的精确性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。

 

通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现精确测量,而超高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。

 

每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得最佳性价比。

 

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新型对流增强皮拉尼真空计 - 高级系列

一体化对流增强皮拉尼真空计能在 100 mbar 至大气压范围内达到更高的准确度。

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新型对流增强皮拉尼真空计 - 标准系列

PGE300 对流增强皮拉尼真空计采用与 PGE500 相同的传感器技术,以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中达到相同的准确度。它内置了可降低成本的最重要功能。

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新型对流增强皮拉尼真空计 - 被动真空计

对流增强皮拉尼真空计 PGE050 可在 100 mbar 至大气压范围内可达到更高准确度,适合在经典“被动真空计 - 控制器组合”中用作真空计传感器。我们的被动真空计控制器 VGC031 和 VGC083 可以作为备选方案。

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新型 Bayard Alpert 真空计头 - 被动

INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 为与 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B 配合使用而设计。

关于相应控制器 VGC083 A+B,请查看“真空计控制器及附件”一章



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新型冷阴极倒磁控管真空计头 - 被动

INFICON 冷阴极倒磁控管被动真空计头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。

有关相应的控制器 VGC083C,请参阅“真空计控制器及附件”一章



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新型 Bayard Alpert 热电离真空计 - 标准

针对需要独立热电离真空计的应用,INFICON 通过经济实用的标准双丝极解决方案,提供了单 Bayard-Alpert 热电离真空计技术。

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新型 B-A型真空计

对于只需要单独的热阴极真空测量的应用环境,INFICON提供单一BA热阴极的真空规管。

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贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计

广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术

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皮拉尼高压热离子真空计

在 2 x 10-6 毫巴至大气压范围内提供准确溅射过程压力控制的高重复性和再现性测量



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贝阿德-阿尔珀特皮拉尼电容膜片真空计 - Triple Gauge™

复合规管技术 - 包含 3 个真空计的装置可以准确测量从超高真空到 1500 毫巴的工作压力和基准压力

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新型倒置磁控管皮拉尼真空计

新型双子座倒置磁控管真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉,主要测量范围为大气压到 1x10 – 9 毫巴。

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反磁控管皮拉尼真空计

反磁控管和皮拉尼真空计原理组合可测量从大气压到 5 x 10-9 毫巴的高真空压力

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潘宁冷阴极电离真空计

这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空压力。 还有现场总线可供选择。



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皮拉尼标准真空计

最简洁的皮拉尼真空计具有 5 x 10-4 毫巴至大气压的高可靠测量范围



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皮拉尼标准真空计 - 高级系列

简洁式皮拉尼真空计系列具有各种功能,包含场地总线选件,是 5 x 10-4 毫巴至大气压范围内特定真空测量的理想之选。

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皮拉尼电容膜片真空计

皮拉尼和电容膜片真空计的组合,测量范围为 5 x 10-4 毫巴至大气压,在“接近大气压”范围时,测量更为精确。

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真空计的校准服务

工厂及 DAkks 真空计校准

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检验文件服务

满足特殊需求的检验文件

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服务文档

INFICON 服务交易文档模板,支持与 INFICON 服务部进行信息交换

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