XTC/3 박막 증착 컨트롤러

단층 또는 다층에 대한 합리적인 가격의 고급 속도 제어

단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다. 특허 받은 ModeLock이 포함된 XTC/3은 입증된 모드 호핑 방지로 일관된 품질을 제공합니다. XTC/3 박막 증착 컨트롤러를 사용하면 증착 속도 및 두께를 매우 정확히 제어할 수 있으며, 거의 모든 층을 수용할 수 있고 설치가 쉬우며 신뢰성이 매우 높아 생산성을 보장할 수 있습니다.

박막 증착 분야의 세계적인 선두 업체인 INFICON은 이제 크게 낮아진 소유 비용으로 독보적인 가치를 누릴 수 있는 기기를 제공합니다.

제어 요구에 생산 또는 연구 개발 용도가 반영되는 경우 INFICON XTC/3가 바로 그러한 제품임을 알 수 있습니다.

전 세계 INFICON 지원

사용자는 어느 위치에 있든 간에 빠른 응답, 세심한 서비스 및 최대 가동 시간을 얻을 수 있습니다. 전 세계에 지사를 두고 있는 INFICON은 전 세계에서 현지 서비스 및 기술 지원을 제공하는 유일한 박막 증착 컨트롤러 제조업체입니다.

특징

  • 단층 또는 다층 모델로 제공
  • 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
  • INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
  • XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
  • XTC/3S 단층 모델은 최대 9개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
  • 읽기 쉬운 TFT LCD 그래픽 디스플레이
  • 막과 공정에 고유의 서술적 이름을 지정할 수 있어 쉽게 검색됨
  • 이더넷 연결 가능
  • 독립형(컴퓨터 불필요) 또는 PC 작동을 위한 옵션 Windows® 소프트웨어
  • INFICON XTC/2 컨트롤러에 대한 플러그 앤 플레이 교환(XTC/2 기능 및 명령어 세트로 제한됨)

일반적인 응용 분야

  • 고급 광학 코팅

뉴스

XTC/3 전면 패널은 당사의 새로운 INFICON
기업 기준을 충족하기 위해 다시 설계되었습니다.

XTC/3M은 새 설계를 포함하는 첫 번째 박막 제품이며
현재 새 제품에 장착되고 있습니다. XTC/3S의 새로운 전면 패널 설계는
2013년 말에 판매될 예정입니다. 다른 박막 제품용
전면 패널은 2014 ~ 2015년에 업데이트될 예정입니다.

사양

유형 XTC3/S XTC3/M
주파수 해상도 ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
측정 주파수 범위 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
측정 간격 0.25 seconds 0.25 seconds
두께 및 비율 해상도/측정(1) ±0.034 Å ±0.034 Å
측정 기술 ModeLock ModeLock
공정 수 1 99
층 수 1 999
재료 프로그램(또는 막) 수 9 32
센서 입력 수 2 2
CrystalSix / Crystal 12센서 지원 Yes Yes
XTAL 2스위치 지원 Yes Yes
소스 출력 수 2 2
컴퓨터 통신 RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
최대 RS232 전송률 115.2 KBaud 115.2 KBaud
자동 크리스탈 스위치 Yes Yes
릴레이 수 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
프로그램 가능한 릴레이 함수 수 1 1
릴레이당 기능 1 1
릴레이 전압 등급 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
입력 수 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
프로그램 가능한 입력 함수 수 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
레코더 출력 수 1 1
수동 전력/핸드헬드 컨트롤러 Yes Yes
배기 팬 No Exhaust Fan No Exhaust Fan
테스트 모드 Yes Yes
셔터 지연 Yes Yes
보조 툴링 Yes Yes
케이스 크기 half rack, 2U high half rack, 2U high
속도 및 두께 표시 해상도 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
입력을 통한 막 선택 Yes No
사용 설명서 언어 English, Chinese English, Chinese
제어 루프 PID PID
PC에서 작동할 소프트웨어 Yes Yes
데이터 기록 Yes Yes
품질 및 안정성 기능 Yes Yes
샘플 및 보관(RateWatcher™) Yes Yes
도가니 선택 Yes Yes
도가니 피드백 입력 Yes Yes
제어 전압 극성 선택 Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
프로그램 잠금 코드 Yes Yes
그래픽 포함 표시 Yes Yes
사용자 라벨 지정 공정(휴대폰 스타일 영숫자 입력) No No
사용자 라벨 지정 막(휴대폰 스타일 영숫자 입력) No No
전송 센서 제어 Yes Yes
XTC/2 RS232 통신 호환성 Yes (limited) Yes (limited)

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
CrystalSix® 센서 CrystalSix® 센서
Crystal 12® 센서 Crystal 12® 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 회전 센서 RSH-600 회전 센서
부품 번호 설명
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 Handheld Power Controller
780-702-G1 1장치 랙 마운트 키트 - 한 XTC/3 장치를 표준 19인치 랙에 마운트하는 데 필요한 모든 재료를 제공합니다.
780-702-G2 2장치 랙 마운트 키트 - XTC/3 장치 2개를 표준 19인치 랙에 나란히 마운트하는 데 필요한 모든 재료를 제공합니다.
779-220-G1 CrystalTwo 스위치, 15.2cm(6in.) BNC 케이블
779-220-G2 CrystalTwo 스위치, 50.8cm(20in.) BNC 케이블
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
780-611-G15 15ft.(4.6m) 케이블 포함 XIU PKG - XTC/3에서 사용
780-611-G30 30ft.(9.1m) 케이블 포함 XIU PKG - XTC/3에서 사용
780-611-G50 50ft.(15.2 m) 케이블 포함 XIU PKG - XTC/3에서 사용
780-611-G100 100ft.(30.5m) 케이블 포함 XIU PKG - XTC/3에서 사용
780-612-G15 15ft.(4.6m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-612-G30 30ft.(9.1 m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-612-G50 50ft.(15.2m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-612-G100 100ft.(30.5m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-613-G15 15ft.(4.6m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-613-G30 30ft.(9.1m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-613-G50 50ft.(15.2m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
780-613-G100 100ft.(30.5m) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20인치 BNC(XIU와 피드스루 간) 케이블 포함 - XTC/3에서 사용
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
780-600-G1 XTC/3 XIU(오실레이터) - 6~72인치(15~183cm) XIU와 센서 헤드 케이블 길이용
780-600-G2 XTC/3 XIU(오실레이터) - 118~157인치(3~4m) XIU와 센서 헤드 케이블 길이용
Cables
755-257-G6 15.2cm(6in) BNC 케이블, XIU-진공 피드스루
600-1261-P15 4.6m(15ft) 케이블, Cgynus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P30 9.1m(30ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P50 15.2m(50ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P100 30.5(100ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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