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VSC150A 절대압 스위치, 패시브
INFICON 진공 스위치 VSC150은 0.5~2000 mbar 범위로 조절 가능한 전기 전환 접점이 있는 절대 압력 스위치입니다. 기계 설계는 ±0.1 mbar의 전환 정확성을 떨어뜨리지 않고 3000 mbar의 단기 열 과부하를 허용합니다. INFICON은 고객 특정 압력 스위치 조절을 제공합니다.
장점
- 높은 스위칭 정확성(± 0.1 mbar)
- 안정적인 장기 작동 특성
- 견고한 내부식성 설계
특징
- 레퍼런스 챔버의 스위칭 접점(상시 닫힘)을 통해 공정 매체에 대해 보호됨
- 스위칭 증폭기 사용 시 향상된 스위칭 성능
- 차압 측정에 사용 가능한 어댑터
일반적인 응용 분야
- 밸브, 펌프, 전원 공급장치를 제어하기 위한 압력 스위치 또는 차압 스위치
- 로드록 챔버
- 공정 챔버
사양
| 유형 | VSC150A absolute switch, passiv | |
|---|---|---|
| 스위칭 범위 | mbar | 0.5 … 2000 |
| 응답 감도 | mbar | 0.1 |
| 과부하 한계 | mbar | 3000 |
| 스위칭 히스테리시스 | mbar | 0.5 |
| 온도 | ||
| 작동(주변) | °C | 5 … 90 |
| 보관 | °C | -20 … 70 |
| 베이크 아웃(최대 8시간) | °C | 120 |
| 스위치 포인트 계수 | % K of switching value | 0.4 |
| 진공 연결 | DN 16 ISO-KF | |
| 전기 연결 | Protected plug (DIN 43650) | |
| 스위치 | n.c. | |
| 스위칭 전압 | V | 24 |
| 스위칭 전류 | mA | 10 |
| 접점 저항 | Ω | <1 |
| 보호 범주 | IP 65 | |
| 매체 접촉 재료 | ||
| 볼륨 감지 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75 | |
| 참조 볼륨 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold | |
| 볼륨 감지 (1) | cm³ | ≈4 |
| 참조 볼륨 | cm³ | ≈20 |
| 무게 | kg | 1.3 |
| SV 스위칭 증폭기 | ||
| 전기 공급(선택 가능) | V | 110 … 130, 220 … 240 |
| 전기 공급 주기 | Hz | 50 / 60 |
| 전력 소모량 | VA | 3 |
| 출력 릴레이: 스위칭 전압 | V | 250 |
| 출력 릴레이: 스위칭 전류 | A | 5 |
| 출력 릴레이: 스위칭 용량 | VA | 500 |
| 응답 시간 | ms | 30 |
| 릴리스 시간 | ms | 7 |
| 제어 회로 | V/mA | 24 / 10 |
| 작동 온도 | °C | 5 … 50 |
| 무게 | kg | 0.36 |
부품 번호
| VSC150A absolute switch, passiv | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 399-005 | VSC150 VACUUM SWITCH |
부속품
| VSC150A absolute switch, passiv | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 399-008 | Switching Amplifier for VSC150 |
| 399-006 | SETPOINT-ADJUSTMENT FOR VSC150 |
| 399-007 | Differentialpressure-Adapter for VSC150 |
