VSA100A 대기 차압

 

INFICON 진공 스위치 VSA100A는 진공 시스템의 안전 스위치로 사용됩니다. 예를 들어, 대기압보다 6mbar 아래 기압에서 순수 가스로 진공 시스템을 환기시킬 때 가스 공급을 자동으로 중단합니다. 대기압보다 3 mbar 낮은 전환 압력을 반환하는 6 mbar의 차동 압력에서 탄성 격막은 부속 장비를 직접 전환하는 데 사용될 수 있는 전환 접점을 작동시킵니다.

장점

  • 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 스위치
  • 긴 수명
  • 견고한 디자인
  • 간편한 통합 방식
  • IP 44 보호

일반적인 응용 분야

  • 로드록 챔버 제어
  • 진공 시스템의 안전 정지
  • VSA100A dimensions

사양

유형 VSA100A
스위칭 압력 mbar 6 ±2 (below atmosphere)
백 스위칭 mbar 3 ±2 (below atmosphere)
작동 압력(절대압) bar <2
헬륨 침투 mbar•L/s <10-6
누출 속도 mbar•L/s <5 x 10-8
온도  
작동 °C 0 ... +85
보관 °C -20 ... +85
스위칭 접점(전환 접점, 금 도금)  
최대 전압 24
최대 전류 mA 30 (24 V(dc)) / 100 (24 V(ac))
최소 부하 mA 1
전기 커넥터 cable, bare wire
케이블 길이, 표준 m (ft.) 3 (9.9)
진공 연결 DN 16 ISO-KF
보호 유형 IP 44
장착 방향 vertical (standing)
내부 용적 cm³ (in.³) 2 (0.122)
진공에 노출된 재료 stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)
무게 g 315
기술 참고 정보: 사용된 격막 재료(EPDM)로 인해 진공 스위치 VSA100A는 공정 가스에 대량의 헬륨이 포함되는 분야에는 적합하지 않습니다. 헬륨에 대한 다이어프램 누출률은 -6 mbar l/s입니다.

부품 번호

VSA100A
부품 번호 설명
399-001 VSA100A VACUUM SWITCH DN16KF, 3M CABLE
친구에게 보내기