Transpector® MPH 잔류 가스 분석기

 

공정 기능 향상

수율 증대 및 최대 가동 시간을 위한 독보적인 성능

실리콘 웨이퍼의 가격이 증가하고 완성 제품에 대한 수요가 증가한다는 것은 스크랩 웨이퍼로 인한 비용이 그 어느 때보다 크다는 의미입니다. 따라서 공정을 이해하고 결함을 모니터링하는 것이 반도체 제조 센터에서 훨씬 높은 우선순위가 되었습니다. Transpector MPH 가스 분석 시스템은 모든 가스 분석 분야에서 공정에 업계 최고의 성능을 부여하여 칩 수율을 극대화하고 도구 비사용 시간을 최소화하도록 설계되어 있습니다. 낮은 총 소유 비용과 높은 평균 고장 간격의 이점을 결합한 Transpector MPH는 시장에 출시된 다른 잔류 가스 분석기(RGA)보다 높은 수익을 가져다 줍니다.

INFICON은 가스 분석 공정 제어 장비 분야의 전문성을 활용하여 업계 최고 수준의 데이터 수집 속도, 최소 검출 가능한 분압 및 신호대잡음비로 RGA를 생성합니다. 신뢰성을 조금도 약화시키지 않으면서 이 모든 것을 INFICON Transpector 가스 분석기에서 얻을 수 있습니다.

특징

  • 아날로그 스캔 및 선택한 피크에 대한 포인트당 최대 데이터 속도, 1.8 ms
  • TCP/IP 이더넷 연결
  • 이중 필라멘트
  • 현장 교체 가능한 전자 증배관
  • 조합된 양극, 음극 및 리페럴 필라멘트 키트
  • 더 짧은 센서로 설치 공간 최소화
  • 9 디케이드의 동적 범위
  • 2E-15 Torr 미만의 MDPP(100 amu)
  • 신호 대 잡음비 증가
  • 상호 교환 가능한 센서 및 전자장치
  • 센서가 청정실 환경에서 조립, 시험 및 이중 포장됨
  • RoHS 준수

사양

유형 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
센서 길이 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
질량 범위 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
검출기 유형 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
민감도(FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
민감도(EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
최소 검출 가능 부분 압력(4) 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
최대 센서 작동 온도 (FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
최대 센서 작동 온도 (EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
필라멘트 유형 옵션(1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
필라멘트 유형 옵션(2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
해상도(전체 질량 범위 이상) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
온도 계수 <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
포인트당 최대 데이터 속도 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
블래스트 없음(@ mass 2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
최대 작동 압력 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
최대 베이크아웃 온도 300 300 300 300 300 300
전력 입력 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 일반 분야용

(2) 할로겐 환경 분야용

(3) 피크 높이의 10%에서

(4) 4초의 체류 시간

부속품

MPH100F
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH100M
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200F
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200M
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300F
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300M
부품 번호 설명
961-021-G1 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
961-021-G2 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G3 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) US 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
961-021-G4 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그
961-021-G5 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 15ft(4.5m) 확장 케이블 포함
961-021-G6 MPH 전원 공급 장치 80 - 250VAC/4ft(1.2m) 230V 플러그, 30 ft(9m) 확장 케이블 포함
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 15ft.(4.5m)
600-1429-P1 전원 공급 장치 확장 케이블 - 30ft.(9m)
961-417-G1 이더넷 라우터 4 포트, 푸시 버튼 Wi-Fi 포함
961-418-G1 이더넷 스위치 8 포트
961-702-G1 피라니 인터로크 키트
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 아날로그 밸브 키트, 전자공압 24V(DC)(히터 포함)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V

예비 부품

MPH100F
부품 번호 설명
961-H1FAS MPH100 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
961-H1FBS MPH100 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H10S MPH 전자 상자, 100AMU FC 또는 EM/FC(MPH100F, MPH100M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH100M
부품 번호 설명
961-H1MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH10
961-H1MBS MPH100 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H10S MPH 전자 상자, 100AMU FC 또는 EM/FC(MPH100F, MPH100M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-2428-G2 전자 증배관 교체 키트
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-205-G2 MPH HPR 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH200F
부품 번호 설명
961-H2FAS FC Sensor, Yttria Coated Filament, MPH20
961-H2FBS MPH200 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H20S MPH 전자 상자, 200AMU FC 또는 EM/FC(MPH200F, MPH200M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH200M
부품 번호 설명
961-H2MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH20
961-H2MBS MPH200 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H20S MPH 전자 상자, 200AMU FC 또는 EM/FC(MPH200F, MPH200M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-2428-G2 전자 증배관 교체 키트
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-205-G2 MPH HPR 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH300F
부품 번호 설명
961-H3FAS MPH300 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
961-H3FBS MPH300 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H30S MPH 전자 상자, 300AMU FC 또는 EM/FC(MPH300F, MPH300M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH300M
부품 번호 설명
961-H3MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH30
961-H3MBS MPH300 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H30S MPH 전자 상자, 300AMU FC 또는 EM/FC(MPH300F, MPH300M), 이더넷 포함
961-700-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 키트
961-700-G2 텅스텐 필라멘트 키트
961-701-G1 코팅된 이리듐 필라멘트 이온 소스
961-701-G2 텅스텐 필라멘트 이온 소스
961-2428-G2 전자 증배관 교체 키트
961-416-P1 예비 MPH 히팅자켓
914-407-P1 예비 밸브 히팅자켓(독립 실행형인 경우 히터 전원 케이블 필요)
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 예비 히터 전원 케이블 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 확장 키트
961-205-G2 MPH HPR 확장 키트
961-022-G1 예비 O-링 및 너트 키트
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
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