Transpector® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터

 

신속하게 즉시 사용할 수 있는 공정 모니터링 시스템

 

성능, 신뢰성 및 융통성

 

INFICON Transpector CPM은 10년 이상 반도체 산업에서 시장을 주도하는 잔류 가스 분석기(RGA) 공정 모니터링 시스템입니다. 이제 Transpector CPM 3은 새로운 센서 및 전자장치와 통합된 현장 검증된 펌핑 및 흡입 시스템을 통해 업계 최고의 측정 속도와 민감도를 제공합니다. Transpector CPM 3은 ALD, CVD, PVD 및 에칭과 같은 새롭게 설정된 반도체 공정을 위한 이상적인 RGA 공정 모니터입니다.


 

Transpector CPM 3은 다음을 통해 파트너에게 입증된 투자 수익을 제공합니다.

  • 업계 선두적인 측정 기술
  • 안정적인 적응식 아키텍처
  • 유지관리의 편의성
  • 우수한 제품 지원

특징

  • ALD, 에칭, CVD 및 300 mm 가스 제거용 잔류 가스 분석기는 실시간 공정 모니터링 및 분석을 지원합니다.
  • 포인트당 1.8 ms(초당 555 포인트)로 ALD가 지원되는 측정 속도
  • 가장 까다로운 CVD 및 에칭 분야에서 현장 입증된 내구성과 신뢰성
  • 적용개소 통합—Transpector CPM은 FabGuard 소프트웨어와 통합되고 INFICON의 세계적인 적용개소 전문가들이 지원할 때 강력한 공정 모니터링 및 진단 도구가 됩니다.
  • 소형 크기—생산 반도체 장비에 쉽게 통합될 수 있습니다.
  • 최대 3개의 압력 흡입구와 표면적 감소로 표면 반응 및 반응 시간을 최소화하는 Hexblock™
  • 용량식 격막 게이지(CDG)—사용자는 CDG를 사용하여 압력 압력을 모니터링하고 압력 변위로부터 시스템을 자동으로 보호할 수 있습니다.
  • 자동 보정—센서 간 및 도구 간 챔버 매칭을 위한 장기간 데이터 안정성과 정확성을 보장합니다.

사양

유형 100 AMU CPM 200 AMU CPM 300 AMU CPM
해상도 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
총 압력 범위¹ 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr
총 압력 정확성¹ +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
최대 이온 소스 작동 압력³ 1E-3 Torr 1E-3 Torr 1E-3 Torr
공칭 작동 압력⁴ 2E-4 Torr 2E-4 Torr 2E-4 Torr
시스템 작동 압력 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm
민감도(저배출) > 4E-6 Amps/Torr > 2E-6 Amps/Torr > 1E-6 Amps/Torr
민감도(고배출) > 2E-5 Amps/Torr > 1E-5 Amps/Torr > 5E-6 Amps/Torr
최소 검출 가능 부분 압력⁵ 1E-13 Torr 2E-13 Torr 4E-13 Torr
최대 데이터 속도 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec)
다량 민감도⁶ < 5 ppm < 10 ppm < 100 ppm
분출 없음⁷ < 2 ppm < 25 ppm < 200 ppm
검출 한도⁸ < 1 ppm < 2 ppm < 4 ppm
선형성⁹ +/- 20% +/- 20% +/- 20%
최소 배압 1E-8 Torr 1E-8 Torr 1E-8 Torr
최대 센서 및 흡입 온도 °C 150 150 150

1 총 압력 렌즈를 사용하여 저배출 시 이온 소스 압력 기록

2 저배출 시 총 압력 정확성

3 저배출 시 최대 이온 소스 작동 압력

4 이온 소스의 2x10-4 Torr가 사중극 영역에서 약 1x10-5 Torr를 생성합니다.

5 EM이 켜진 이온 소스에서 MDPP와 1초의 체류 시간

6 41 AMU에 질량 40 기여

7 2 AMU에 블래스트 없음 기여

8 1초 체류 시간에서 공기 중 크립톤으로 검출 가능 농도

9 1 Torr 오리피스 이하의 경우. 공칭 오리피스 압력의 0.1~2배에서 저배출 시 선형성

소비재

100 AMU CPM
부품 번호 설명
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 교체 c-링
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 10Torr HexBlock 오리피스(20micron)
923-706-G4 1Torr HexBlock 오리피스(62micron)
923-706-G6 10mtorr HexBlock 오리피스(750micron)
923-706-G7 360mtorr HexBlock 오리피스(120micron)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 10Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G2 100Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G3 7Torr HexBlock 스니퍼
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
200 AMU CPM
부품 번호 설명
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 교체 c-링
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 10Torr HexBlock 오리피스(20micron)
923-706-G4 1Torr HexBlock 오리피스(62micron)
923-706-G6 10mtorr HexBlock 오리피스(750micron)
923-706-G7 360mtorr HexBlock 오리피스(120micron)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 10Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G2 100Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G3 7Torr HexBlock 스니퍼
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
부품 번호 설명
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 교체 c-링
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 10Torr HexBlock 오리피스(20micron)
923-706-G4 1Torr HexBlock 오리피스(62micron)
923-706-G6 10mtorr HexBlock 오리피스(750micron)
923-706-G7 360mtorr HexBlock 오리피스(120micron)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 10Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G2 100Torr HexBlock 스니퍼(5cm 길이)
923-707-G3 7Torr HexBlock 스니퍼
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

예비 부품

100 AMU CPM
부품 번호 설명
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 교체 c-링
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 모세관 어셈블리 - 1.5m
922-204-G3 모세관 어셈블리 - 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock 밸브 교체 키트
923-712-G1 예비 HexBlock 오리피스 개스킷(5개 팩)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
200 AMU CPM
부품 번호 설명
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 교체 c-링
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 모세관 어셈블리 - 1.5m
922-204-G3 모세관 어셈블리 - 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock 밸브 교체 키트
923-712-G1 예비 HexBlock 오리피스 개스킷(5개 팩)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
300 AMU CPM
부품 번호 설명
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 교체 c-링
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 모세관 어셈블리 - 1.5m
922-204-G3 모세관 어셈블리 - 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock 밸브 교체 키트
923-712-G1 예비 HexBlock 오리피스 개스킷(5개 팩)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
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