STM-2XM 2 채널 비율/두께 모니터

많은 적용개소에서 단순한 작동

STM-2XM은 높은 정확도와 유연한 프로그래밍 및 쉬운 작동을 결합하여 적정 가격으로 제공하는 2 채널 속도/두께 모니터입니다.

STM-2XM에는 5개 작동 모드가 갖추어져 있어 단순한 공정에서 복잡한 공정까지 모두 수용할 수 있습니다.  예를 들어, 단순 모드를 사용하여 가장 간단한 프로세스를 위해 싱글 센서 하나를 모니터링하거나, 동시 증착 모니터링을 위해 합금 모드를 사용합니다. 독립 모드를 사용하면 STM-2XM이 두 개의 완전히 분리된 모니터로 기능할 수 있습니다.

두 센서 입력을 사용하여 단일 석영 크리스탈 센서 두 개 또는 이중 석영 크리스탈 센서 한 개를 사용할 수 있습니다. 초당 10회 측정하여 측정당 0.037의 해상도를 얻을 수 있습니다(밀도 1).

다양한 기능

STM-2XM에는 프로그래밍 가능한 디지털 입력 8개, 프로그래밍 가능한 디지털 출력 8개, 그리고 일반적으로 더 비싼 기기용의 통합 수준을 허용하는 아날로그 출력 4개가 있습니다.

프로그래밍 가능한 기능에는 셔터 지연, 시간/전력 모니터링 및 속도 샘플링이 포함됩니다. 이러한 기능을 모두 사용하여 가장 정확한 판독값과 가장 긴 크리스탈 수명을 얻습니다.

간단한 전면 패널 인터페이스 또는 포함된 LabVIEW® 소프트웨어를 통해 STM-2XM을 작동하고 모니터링합니다. 이 간단한 소프트웨어는 모든 기능을 제공하며, 사용하기 쉽습니다.

사용하기 쉬움

STM-2XM은 고대비 LCD 디스플레이와 직관적인 메뉴 시스템이 특징입니다. 간단한 안내 프로그래밍 및 작동에 대한 화면 히트를 메뉴 전체에서 찾을 수 있습니다. 판독하기 쉬운 LCD가 누적 질량 또는 두께를 표시할 수 있습니다.

특징

  • 측정 채널 2개
  • 비율, 비율 편차 또는 두께용 아날로그 출력 4개
  • 프로그래밍 가능한 디지털 입력 8개
  • 프로그래밍 가능한 디지털 출력 8개
  • 초당 10회 판독에서 높은 정확도 제공
  • 질량 또는 두께 표시
  • 동시 증착 모니터링 기능

일반적인 응용 분야

  • 싱글/듀얼 센서 모니터링
  • 동시 증착 모니터링

사양

유형 STM-2XM
호환 가능한 센서 Single/shuttered single or dual QCM sensor
센서 입력 Two
측정 주파수 범위 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
주파수 해상도 ±0.03 MHz at 6 MHz
기준 주파수 안정성 ±2 ppm
두께 및 비율 해상도/측정 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
측정 간격 0.10 s
저장된 필름 15
디스플레이 모드 Thickness/Mass
디지털 입력 Eight
디지털 출력 Eight
아날로그 출력 Four
아날로그 출력 정격 0 to +/-10 V, 10 mA
릴레이 정격 Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A
전력 요구사항 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

부품 번호

STM-2XM
부품 번호 설명
STM-2XM-G1 STM-2XM 모니터, 미국 전원 코드
STM-2XM-G2 STM-2XM 모니터, 유럽 전원 코드

부속품

이름 명세
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
ALD 센서 ALD 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
부품 번호 설명
783-014-008 랙 장착 키트 - 48.3cm(19in) 랙에 STM-2XM 기기를 하나 장착합니다.
783-014-009 이중 랙 장착 키트 - 48.3cm(19in) 랙에 STM-2XM 기기를 두 개 장착합니다.
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
783-500-109-10 3m(10ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 3m(10ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-25 7.6m(25ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 7.6m(25ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-50 15.2m(50ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 15.2m(50ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-75 22.8m(75ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 22.8m(75ft) BNC 케이블 포함
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
783-500-013 OSC-100 오실레이터만 해당(케이블 없음)
Cables
782-902-011 15.2cm(6in) BNC 케이블, 수/암
782-902-012-10 3m(10ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-25 7.6m(25ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-50 15.2m(50ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-75 22.8m(75ft) BNC 케이블, 수/수

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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