STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터

크기가 작고 저렴하지만 뛰어난 성능

STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단순성으로 설치 및 작동이 쉽고 효율적입니다.

뛰어난 성능

STM-2는 업계에서 가장 정확한 USB 전력 공급 방식의 박막 모니터입니다. 초당 10회 측정 동안 측정당 0.037의 해상도(밀도 1)를 얻습니다.

쉽고 유연한 설치

STM-2는 QCM 센서/피드스루를 Windows® PC에 연결하는 데 필요한 모든 요소를 함께 제공합니다. 포함된 BNC 케이블을 피드스루와 STM-2에 간단히 연결한 다음, 표준 미니 USB 케이블(포함됨)을 사용하여 STM-2를 PC에 연결합니다. 외부 오실레이터 또는 전원 공급이 필요하지 않습니다.

STM-2는 STM-2가 1 m(40인치)의 석영 크리스탈 내에 있을 때 간단하고 비용 효율적으로 설치할 수 있는 내부 오실레이터를 제공합니다. 표준 INFICON® 오실레이터 키트는 STM-2를 피드스루에서 멀리 두어야 하는 적용개소에 사용할 수 있습니다.

STM-2 소프트웨어

STM-2는 간단하게 작동하고 데이터를 로깅할 수 있는 LabVIEW® 소프트웨어를 제공합니다. 또한 Windows 소프트웨어는 동시에 최대 8개 STM-2의 작동 및 데이터 로깅이 가능합니다(각 STM-2에는 전력 공급이 가능한 USB 포트가 필요합니다).


주의: STM-2 Windows 응용 프로그램 소프트웨어 또는 STM-2 LabVIEW 응용 프로그램 소프트웨어가 올바르게 작동하려면 SMDP 서버를 설치해야 합니다.

특징

  • 저렴한 기기
  • USB 연결
  • 내부 오실레이터
  • 초당 10회 측정 시 높은 정확도
  • 외부 오실레이터와 호환 가능
  • 소프트웨어 포함

사양

유형 STM-2
센서 입력 One
호환 가능한 센서 Non-shuttered single QCM sensor
센서 입력 Female BNC
측정 주파수 범위 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
주파수 해상도 ±0.03 Hz at 6 MHz
측정 간격 0.10 s
기준 주파수 안정성 ±2 ppm
두께 및 비율 해상도/측정 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
두께 표시 해상도 1 Å (display on software only)
인터페이스 USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
크기 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.)
중량 57 g (2 oz.)
컴퓨터 요구사항 Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2

부품 번호

STM-2
부품 번호 설명
STM-2 STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터

부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
ALD 센서 ALD 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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