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STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터
크기가 작고 저렴하지만 뛰어난 성능
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단순성으로 설치 및 작동이 쉽고 효율적입니다.
뛰어난 성능
STM-2는 업계에서 가장 정확한 USB 전력 공급 방식의 박막 모니터입니다. 초당 10회 측정 동안 측정당 0.037의 해상도(밀도 1)를 얻습니다.
쉽고 유연한 설치
STM-2는 QCM 센서/피드스루를 Windows® PC에 연결하는 데 필요한 모든 요소를 함께 제공합니다. 포함된 BNC 케이블을 피드스루와 STM-2에 간단히 연결한 다음, 표준 미니 USB 케이블(포함됨)을 사용하여 STM-2를 PC에 연결합니다. 외부 오실레이터 또는 전원 공급이 필요하지 않습니다.
STM-2는 STM-2가 1 m(40인치)의 석영 크리스탈 내에 있을 때 간단하고 비용 효율적으로 설치할 수 있는 내부 오실레이터를 제공합니다. 표준 INFICON® 오실레이터 키트는 STM-2를 피드스루에서 멀리 두어야 하는 적용개소에 사용할 수 있습니다.
STM-2 소프트웨어
STM-2는 간단하게 작동하고 데이터를 로깅할 수 있는 LabVIEW® 소프트웨어를 제공합니다. 또한 Windows 소프트웨어는 동시에 최대 8개 STM-2의 작동 및 데이터 로깅이 가능합니다(각 STM-2에는 전력 공급이 가능한 USB 포트가 필요합니다).
주의: STM-2 Windows 응용 프로그램 소프트웨어 또는 STM-2 LabVIEW 응용 프로그램 소프트웨어가 올바르게 작동하려면 SMDP 서버를 설치해야 합니다.
특징
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
- 외부 오실레이터와 호환 가능
- 소프트웨어 포함
사양
| 유형 | STM-2 | |
|---|---|---|
| 센서 입력 | One | |
| 호환 가능한 센서 | Non-shuttered single QCM sensor | |
| 센서 입력 | Female BNC | |
| 측정 주파수 범위 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 주파수 해상도 | ±0.03 Hz at 6 MHz | |
| 측정 간격 | 0.10 s | |
| 기준 주파수 안정성 | ±2 ppm | |
| 두께 및 비율 해상도/측정 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
| 두께 표시 해상도 | 1 Å (display on software only) | |
| 인터페이스 | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) | |
| 크기 | 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.) | |
| 중량 | 57 g (2 oz.) | |
| 컴퓨터 요구사항 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 | |
부품 번호
| STM-2 | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| STM-2 | STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 |
부속품
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 전면 장착 싱글 센서 | 전면 장착 싱글 센서 |
| Cool Drawer 싱글 센서 | Cool Drawer 싱글 센서 |
| UHV 베이커블 센서 | UHV 베이커블 센서 |
| ALD 센서 | ALD 센서 |
| 스퍼터링 센서 | 스퍼터링 센서 |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
소비재
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 석영 모니터 크리스탈 | 석영 모니터 크리스탈 |
브로슈어
- STM-2 USB Thin Film Thickness/Rate Monitor (English) |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- STM-2 USB Thin Film Thickness/Rate Monitor (Japanese) |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
설명서
- STM-2 USB Rate/Thickness Monitor Operating Manual (English) |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- STM-2 USB Rate/Thickness Monitor Operating Manual (Japanese) |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
