SQM-160 박막 증착 모니터

SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다. 2개의 센서 입력이 표준으로 제공되고 4개의 추가 센서 입력은 옵션입니다. 2개의 레코더 출력은 아날로그 속도와 두께 신호를 제공합니다.

센서 입력은 서로 다른 재료에 할당되거나 대형 시스템의 정확한 증착 제어를 위해 평균화되거나 이중 센서로 구성될 수 있습니다. 속도 샘플링 모드는 셔터식 센서가 고속 공정에서 센서 수명을 연장하게 해줍니다. 0.1Å/s 또는 0.01Å/s의 속도 표시는 사용자가 선택할 수 있습니다. 또한 주파수나 질량 디스플레이도 선택할 수 있습니다. 4개의 릴레이 출력을 통해 SQM-160은 소스 또는 센서 셔터, 신호 시간 및 두께 설정값 및 신호 크리스탈 오류를 제어할 수 있습니다. 디지털 입력은 외부 신호가 시작/정지되고 판독값이 0이 되게 해줍니다.

특징

  • 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
  • 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
  • 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
  • RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션

사양

유형 SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
QCM 센서 입력 Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
측정 주파수 범위 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
주파수 해상도(1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
두께 및 비율 해상도/측정(2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
측정 간격 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
측정 필터 1 to 20 readings 1 to 20 readings
저장된 막 99 99
아날로그 출력 Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
디지털 입력/출력 Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
통신 인터페이스

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

전력 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 준수

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

하우징/장착

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

중량 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Windows 소프트웨어(포함됨)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) 0.10초 측정 간격에 지정된 해상도
(2) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.10초 측정 간격

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
부품 번호 설명
782-900-008 SQM-160 또는 CI-100 기기 1개용 19인치 랙 마운트 키트
782-900-014 SQM-160 또는 CI-100 기기 2개용 19인치 랙 마운트 키트
782-502-096-G1 USB Option Bd Assy Spare
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
783-500-109-10 3m(10ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 3m(10ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-25 7.6m(25ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 7.6m(25ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-50 15.2m(50ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 15.2m(50ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-75 22.8m(75ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 22.8m(75ft) BNC 케이블 포함
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
783-500-013 OSC-100 오실레이터만 해당(케이블 없음)
Cables
782-902-011 15.2cm(6in) BNC 케이블, 수/암
782-902-012-10 3m(10ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-25 7.6m(25ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-50 15.2m(50ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-75 22.8m(75ft) BNC 케이블, 수/수

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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