SQC-310 박막 증착 컨트롤러

매우 정확한 순차적 또는 동시 증착 제어

첨단 전자부품, 개선된 디스플레이 및 매우 합리적인 가격을 갖춘 INFICON SQC-310 시리즈는 경쟁사의 박막 컨트롤러에서 찾을 수 없는 이점들을 제공합니다. 그리고 적용개소에 이상적인 모델을 선택할 수 있습니다(순차 증착(SQC-310) 또는 동시 증착(SQC-310C)).

 

특징

  • 밝은 컬러 LCD 디스플레이 - 영어 또는 중국어로 사용 가능
  • 표준 RS-232 및 USB(RS-232 및 이더넷 옵션)
  • "빠른 설정" 메뉴, 6개의 콘텍스트 센시티브 푸시 버튼, 편리한 파라미터 설정 노브로 설치 및 조작이 쉬움
  • 공정 개발, 시험 및 다운로딩, 그리고 분석 및 품질 관리를 위해 PC에 계측 데이터를 기록하기 위한 Windows® 프로그램
  • 10개 판독값/초에서 0.03 Hz 해상도로±특히 낮은 증착 속도에서 정확한 공정 제어 가능
  • 최대 100개의 공정, 1,000개의 층, 50개의 막에 대한 저장 용량
  • 하나의 센서 또는 다수의 센서로 소스 재료를 모니터링하여 정확한 소스 분배 모니터링 제공

사양

유형 SQC-310 SQC-310C
측정    
QCM 입력 2 (4 optional) 4
측정 주파수 범위 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
주파수 해상도(1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
두께 및 비율 해상도/측정(2) ±0.015 Å ±0.015 Å
주파수 안정성 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
측정 간격 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
속도 표시 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
제어    
보관 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
제어 출력 2 (4 optional) 4
출력 신호 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
디지털 입력/릴레이 8/8 (16/16 optional) 16/16
디지털 입력 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
릴레이 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
인터페이스 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
원격 출력 제어 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
화면    
유형 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
그래프 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
일반    
전력 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
준수 CE, RoHS CE, RoHS
Windows® 소프트웨어 Included Included
하우징/장착 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25초 측정 간격에 지정된 해상도
(2) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.25초 측정 간격

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부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
CrystalSix® 센서 CrystalSix® 센서
Crystal 12® 센서 Crystal 12® 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 회전 센서 RSH-600 회전 센서
부품 번호 설명
782-900-017 Handheld Power Controller
782-900-007 전체 랙 확장기 - SQC-310 또는 Composer Elite 하나를 19인치 랙에 마운트(블랭크오프 포함)
782-900-016 2 Unit Rack Adapter, 3U (5.25 in.)
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
782-502-096-G2 USB Option Card, Tested, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
783-500-109-10 3m(10ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 3m(10ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-25 7.6m(25ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 7.6m(25ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-50 15.2m(50ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 15.2m(50ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-75 22.8m(75ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 22.8m(75ft) BNC 케이블 포함
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
783-500-013 OSC-100 오실레이터만 해당(케이블 없음)
Cables
782-902-011 15.2cm(6in) BNC 케이블, 수/암
782-902-012-10 3m(10ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-25 7.6m(25ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-50 15.2m(50ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-75 22.8m(75ft) BNC 케이블, 수/수

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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