저에게 연락 주십시오.
사진이 준비되었나요??
INFICON 제품을 사용하는 모습을 담은 사진을 보내주세요. 당사에서 멋진 선물을 보내드립니다!
전화 주문
해당 현지 대리점에 연락해 주십시오.
스퍼터링 센서
INFICON 스퍼터링 센서는 스퍼터링 공정에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다. 센서 본체와 냉각 튜브는 스퍼터링 환경에서 최대의 냉각 효율성을 위해 금 도금된 베릴륨 구리로 되어 있습니다. 센서 헤드에 내장된 자석은 외부 자기장으로 편향시킴으로써 스퍼터링 시스템에서 에너지가 많은 자유 전자에 의한 과도한 가열을 감소합니다. 후면 장착 크리스탈 홀더 설계 덕분에 센서 헤드를 시스템에서 제거하지 않고도 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있습니다.
특징
- 냉각 효율성을 극대화하는 금 도금된 베릴륨 구리 센서 본체 및 냉각 튜브
- 자유 전자를 모니터 크리스탈로부터 편향시키는 자석
- 센서 배치의 유연성을 제공하는 구부러지는 워터 튜브로 쉽게 설치할 수 있음
- 후면 장착 크리스탈 삽입으로 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있음
사양
| 유형 | Sputtering Sensor | |
|---|---|---|
| 최대 베이크아웃 온도(물 없음) | 105°C | |
| 최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 | 400° C | |
| 크기(최대 엔벌로프) | 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm) | |
| 워터, 에어 및 동축 길이 | Standard 30 in. (76.2 cm) | |
| 크리스탈 교환 | Rear-loading | |
| 장착 | Customer supplied | |
| 설치 요건 | ||
| 피드스루 |
2 pass water with coax connector 2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043 1 in. Bolt – IPN 002-042
|
|
| 기타 |
1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes. 2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller. |
|
| 유속 | Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason. | |
| 재료 | ||
| 바디 및 홀더 | Au plated Be-Cu | |
| 스프링, 전기 접촉 | Au plated Be-Cu | |
| 워터 튜브 | Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. | |
| 커넥터 | 304 Stainless steel | |
| 절연체 | 99% Al2O3 | |
| 와이어 | Teflon® insulated copper | |
| 납땜 | Cadmium free silver and indium alloys | |
| 크리스탈 | 0.550 in. (1.4 cm) Diameter | |
| 자석 | ALNICO 5 Alloy | |
| 선택적 셔터 어셈블리 750-005-G1 사양: | ||
| 온도 | 130° C | |
| 1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감: | ||
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® | |
| 온도 | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without | |
| 장착 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture | |
| CF 40 용접 마감: | ||
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel | |
| 온도 | Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without | |
| 장착 | Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. | |
부품 번호
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 750-618-G1 | 스퍼터링 센서(센서만, 피드스루 포함 안 됨) |
부속품
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| QCM 센서 피드스루 | QCM 센서 피드스루 |
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 750-005-G1 | 스퍼터링 센서용 공압 셔터 어셈블리(셔터 어셈블리만, 센서는 포함 안 됨) |
| 750-420-G1 | 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용) |
소비재
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 석영 모니터 크리스탈 | 석영 모니터 크리스탈 |
예비 부품
| Sputtering Sensor | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 007-023 | 세라믹 리테이너 |
| 007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
| 007-007 | (크리스탈 홀더용) 리테이너 스프링 |
| 007-047 | Front Cover, Sputtering Sensor |
| 007-009 | DET, MAGNET |
| 070-0440 | Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC |
| 070-0442 | 고정 링(셔터 어셈블리 축에 설치함) |
| 070-0441 | Spacer, B4-4, Stainless Steel |
| 082-044 | Teflon 나사(리프 스프링용) |
| 082-029-P1 | SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS |
| 750-009-P2 | COVER, PIVOT FINISHED |
| 750-046-G2 | SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @ |
| 750-048-P1 | 007-048 및 751-619-G1 스퍼터링 헤드 바디용 리테이너 스프링 |
| 750-115-P4 | 커플링(풀무 어셈블리에 설치) |
| 750-169-P4 | 공압 셔터 어셈블리용 풀무 어셈블리 |
| 750-174-P2 | 암 동축 |
| 750-175-P1 | 절연체(리프 스프링 아래) |
| 750-188-P3 | Leaf Spring, Formed |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-619-G1 | Body, Sputtering Sensor |
| 750-626-P1 | 스퍼터링 헤드 커버용 스프링 |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | 진공 케이블, 15.2cm(6in) |
| 007-252 | 진공 케이블, 30.5cm(12in) |
| 321-039-G11 | 진공 케이블, 61.0cm(24in) |
| 007-044 | 진공 케이블, 78.1cm(30.75in) |
| 007-059 | 진공 케이블, 91.4cm(36in) |
| 007-061 | 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G13 | 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G14 | 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G15 | 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요 |
| 321-039-G16 | 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요 |
