스퍼터링 센서

INFICON 스퍼터링 센서는 스퍼터링 공정에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다. 센서 본체와 냉각 튜브는 스퍼터링 환경에서 최대의 냉각 효율성을 위해 금 도금된 베릴륨 구리로 되어 있습니다. 센서 헤드에 내장된 자석은 외부 자기장으로 편향시킴으로써 스퍼터링 시스템에서 에너지가 많은 자유 전자에 의한 과도한 가열을 감소합니다. 후면 장착 크리스탈 홀더 설계 덕분에 센서 헤드를 시스템에서 제거하지 않고도 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있습니다.

특징

  • 냉각 효율성을 극대화하는 금 도금된 베릴륨 구리 센서 본체 및 냉각 튜브
  • 자유 전자를 모니터 크리스탈로부터 편향시키는 자석
  • 센서 배치의 유연성을 제공하는 구부러지는 워터 튜브로 쉽게 설치할 수 있음
  • 후면 장착 크리스탈 삽입으로 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있음

사양

유형 Sputtering Sensor
최대 베이크아웃 온도(물 없음) 105°C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 400° C
크기(최대 엔벌로프) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
워터, 에어 및 동축 길이 Standard 30 in. (76.2 cm)
크리스탈 교환 Rear-loading
장착 Customer supplied
설치 요건  
피드스루

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

기타

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

유속 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
재료  
바디 및 홀더 Au plated Be-Cu
스프링, 전기 접촉 Au plated Be-Cu
워터 튜브 Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
커넥터 304 Stainless steel
절연체 99% Al2O3
와이어 Teflon® insulated copper
납땜 Cadmium free silver and indium alloys
크리스탈 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
자석 ALNICO 5 Alloy
선택적 셔터 어셈블리 750-005-G1 사양:  
온도 130° C
1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
온도 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
장착 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 용접 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
온도 Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
장착 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

부품 번호

Sputtering Sensor
부품 번호 설명
750-618-G1 스퍼터링 센서(센서만, 피드스루 포함 안 됨)

부속품

이름 명세
QCM 센서 피드스루 QCM 센서 피드스루
Sputtering Sensor
부품 번호 설명
750-005-G1 스퍼터링 센서용 공압 셔터 어셈블리(셔터 어셈블리만, 센서는 포함 안 됨)
750-420-G1 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용)

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈

예비 부품

Sputtering Sensor
부품 번호 설명
007-023 세라믹 리테이너
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 (크리스탈 홀더용) 리테이너 스프링
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 고정 링(셔터 어셈블리 축에 설치함)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 Teflon 나사(리프 스프링용)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 007-048 및 751-619-G1 스퍼터링 헤드 바디용 리테이너 스프링
750-115-P4 커플링(풀무 어셈블리에 설치)
750-169-P4 공압 셔터 어셈블리용 풀무 어셈블리
750-174-P2 암 동축
750-175-P1 절연체(리프 스프링 아래)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1 Body, Sputtering Sensor
750-626-P1 스퍼터링 헤드 커버용 스프링
In-vacuum cables
321-039-G12 진공 케이블, 15.2cm(6in)
007-252 진공 케이블, 30.5cm(12in)
321-039-G11 진공 케이블, 61.0cm(24in)
007-044 진공 케이블, 78.1cm(30.75in)
007-059 진공 케이블, 91.4cm(36in)
007-061 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G13 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G14 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G15 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
321-039-G16 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
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