SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 압력계는 매우 정확한 전체 압력 측정 및 제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG045D 게이지는 뛰어난 신호 안정성과 반복성을 위해 45°C에서 제어된 온도입니다. 이 게이지는 모든 일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는 50mTorr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에 상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형 압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더 빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 진공 응용 분야에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.

장점

  • CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
  • 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
  • 2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
  • 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
  • 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

일반적인 응용 분야

  • Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
  • 화학 및 부식 진공 프로세스
  • 일반 박막 및 진공 프로세스
  • 국제 표준에 따른 테스트 기기 모니터링을 위한 기준 센서
  • 추적성 측정을 위한 전달 표준

뉴스

이제 EtherCAT 디지털 인터페이스 사용 가능!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

사양

유형 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
정확성 (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
온도 영향      
제로 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
스팬 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
최대 압력 kPa (absolute) 400 260 130
해상도 percent FS 0.003 0.003 0.003
최저 측정값 percent FS 0.01 0.01 0.01
권장 최저 측정값 percent FS 0.05 0.05 0.05
최저 권장 제어 압력 percent FS 0.5 0.5 0.5
온도      
작동(주변) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤110 ≤110 ≤110
보관 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
전력 소모량      
히팅 하는 동안 W ≤12 ≤12 ≤12
작동 온도 W ≤8 ≤8 ≤8
출력신호(아날로그) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
응답 시간 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
보호 수준 IP 40 IP 40 IP 40
표준      
CE 준수 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 인증 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 준수 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
전기 연결 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
셋포인트      
셋포인트 개수 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
릴레이 접점 ≤30 ≤30 ≤30
히스테리시스 percent FS 1 1 1
진단 포트      
프로토콜 RS232-C RS232-C RS232-C
읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
내부 용적      
내부 볼륨 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
무게      
무게 1/2" 튜브 g 837 837 837
무게 DN 16 ISO KF g 852 852 852
무게 DN 16 CF-R g 875 875 875
무게 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
디바이스넷      
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
장치 유형 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only polling only
D-sub 커넥터에서 게이지 공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
마이크로스타일 커넥터에서 디바이스넷 트랜시버 공급 전압 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
디바이스넷 커넥터 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압 CDG, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 커넥터 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 2시간 작동 후 온도 효과 없이 25°C 주변 작동 온도에서 비선형성, 이력현상, 반복성.

(2) 10 … 90% FS 증가  

(3) 압력 제어 유형 전용

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG045D Sky PIM Ordering Information.png
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